原位置检测装置

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本发明涉及一种原位置检测装置，包括：测量头、驱动机构以及检测腔体；检测腔体上设置有第一光学观察孔，测量头上设置有第二光学观察孔；检测腔体上开设有用于供测量头通过的开口；检测腔体上还设置有屏蔽门，驱动机构与屏蔽门连接，用于驱动屏蔽门相对于检测腔体移动，以敞开或者覆盖开口，而打开或者关闭检测腔体。将本发明的原位置检测装置安装在超真空检测系统中，给检测人员提供了一种在光学观察方法下将样品与探针对准并检测样品各项电学性能的检测平台，无需再将样品从超高真空的检测环境中取出，极大的减少了检测人员的操作步骤，提高检测效率。且保证样品在检测过程中始终处于真空环境，实现了对样品表面性质的保护。 （来自 马克数据网）