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一种扫描式基片表面检测方法和装置
摘要文本
本发明提供一种扫描式基片表面检测方法和装置，利用液滴在基片表面的运动检测基片的均匀性，方法设备简单，不对基片表面造成损伤，适合于核心区域的定点检测以及常规检测。在检测的过程中，基片倾斜一定的角度，液滴在基片的表面并不主动滑落，用牵引装置牵引液滴运动。运动的过程中，经过需要检测的区域，通过液滴的形态变化判断基片表面的均匀性。。 （更多数据，详见马克数据网）
申请人信息
- 申请人:赛纳生物科技(北京)有限公司
- 申请人地址:100744 北京市大兴区北京经济技术开发区科创七街29号院7号楼1层101室
- 发明人: 赛纳生物科技(北京)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种扫描式基片表面检测方法和装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201811643903.6 |
| 申请日 | 2018年12月29日 |
| 公告号 | CN109490148B |
| 公开日 | 2024年2月9日 |
| IPC主分类号 | G01N13/00 |
| 权利人 | 赛纳生物科技(北京)有限公司 |
| 发明人 | 李文涛; 陈子天; 李晓龙 |
| 地址 | 北京市大兴区北京经济技术开发区科创七街29号院7号楼1层101室 |
专利主权项内容
1.一种扫描式基片表面检测方法, 其特征在于, 基片倾斜，在基片的表面加第一液体液滴；将牵引装置和第一液体接触，以牵引装置引导第一液体运动；通过第一液体液滴运动的状态检测基片表面的均匀性；其中，所述第一液体液滴在重力的作用下不主动滑落；所述第一液体液滴在牵引装置的作用下运动；其中，所述基片表面疏水化学修饰，所述第一液体为含水的液体。 微信公众号马克数据网