一种芯片台定位装置
摘要文本
一种芯片台定位装置,包括Y轴运动板、定位板、底座、芯片托盘、Z轴方向定位单元和XY平面定位单元;所述Z轴、XY平面定位单元分别带动芯片在Z轴、XY平面上运动,并共用同一动力单元。该芯片台定位装置实现生物芯片在XYZ方向精准定位。由于采用上定位板定位同时也是芯片定位基准面,在制冷片组件加热制冷的温控过程中,热胀冷缩作用整个制冷片组件会往Z向下沉,此时芯片检测面基本保持Z向不变,大幅减少温控时热胀冷缩的变形影响。Z轴方向定位单元和XY平面定位单元共用同一动力单元,减少了零部件的数量,降低制造成本。采用进出仓装置,减少高精密Y轴行程,进一步缩小装置空间,降低系统复杂度和成本。
申请人信息
- 申请人:赛纳生物科技(北京)有限公司
- 申请人地址:100744 北京市大兴区北京经济技术开发区科创七街29号院7号楼1层101室
- 发明人: 赛纳生物科技(北京)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种芯片台定位装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201811616855.1 |
| 申请日 | 2018年12月27日 |
| 公告号 | CN109612996B |
| 公开日 | 2024年2月13日 |
| IPC主分类号 | G01N21/84 |
| 权利人 | 赛纳生物科技(北京)有限公司 |
| 发明人 | 李金磊; 陈子天 |
| 地址 | 北京市大兴区北京经济技术开发区科创七街29号院7号楼1层101室 |
专利主权项内容
1.一种芯片台定位装置,其特征在于,包括:定位板(2)、底座(3)、芯片托盘(4)、Z轴方向定位单元和XY平面定位单元;所述定位板(2)固定设置于Y轴运动板(1)下方,所述Y轴运动板(1)用于定位所述定位板(2);所述芯片托盘(4)位于所述定位板(2)和底座(3)之间,用于放置芯片(5);所述Z轴方向定位单元带动芯片(5)在Z轴方向上运动,所述XY平面定位单元带动芯片(5)在XY平面方向上运动;所述Z轴方向定位单元和XY平面定位单元共用同一动力单元;所述Z轴方向定位单元包括:制冷片组件(12),通过左滑块(20)和右滑块(22)固定连接于底座(3),用于对芯片(5)加热/制冷,控制温度,并用于托起芯片(5)沿Z轴方向运动;滑块导轨(17),设置在框架(11)两侧,用于与所述左滑块(20)和右滑块(22)配合滑动连接;所述XY平面定位单元包括:多个定位孔(51),设置在所述芯片(5)上;多个定位销(52),设置在所述定位板(2)的下表面,与所述多个定位孔(51)对应设置;当所述制冷片组件(12)托起芯片(5)沿Z轴方向向定位板(2)运动时,所述定位孔(51)插入所述定位销(52);推销(16),转动连接于所述底座(3)上,所述芯片(5)上设置有推销槽(161);当所述制冷片组件(12)托起芯片(5)沿Z轴方向向定位板(2)运动时,所述推销(16)在推销槽(161)内推动芯片(5),使其定位孔(51)朝向所述定位销(52)对齐。