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极紫外光容器检查方法
摘要文本
本公开提供用于直接检查极紫外光容器的整个内部的单次拍摄测量。可提供包括与极紫外光容器整合的检查工具的一极紫外光容器。在检查过程中，检查工具移入极紫外光容器的主要聚焦区域。当检查工具是设置在主要聚焦区域，并且当通过一照明器向极紫外光容器的内部提供一实质地均匀且恒定的照明度时，极紫外光容器的内部的一全景影像可以通过检查工具的一单次拍摄来获取。之后，极紫外光容器中的多个元件上的锡污染程度可以基于极紫外光容器的内部的全景影像来量化。所量化的污染程度可以与一关键绩效指标做比较，并且可以实行一失控行动计划。
申请人信息
- 申请人:台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址:中国台湾新竹市
- 发明人: 台湾积体电路制造股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 极紫外光容器检查方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201810709621.5 |
| 申请日 | 2018年7月2日 |
| 公告号 | CN109324062B |
| 公开日 | 2024年2月9日 |
| IPC主分类号 | G01N21/90 |
| 权利人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 发明人 | 张俊霖; 简上杰; 吴尚颖; 郑力凯; 傅中其; 刘柏村; 陈立锐; 郑博中; 严涛南; 陈家桢 |
| 地址 | 中国台湾新竹 |
专利主权项内容
1.一种极紫外光容器检查方法，包含：提供一全景相机，适用于一极紫外光容器；通过该全景相机的一单次拍摄来获取该极紫外光容器的内部的一影像；以及基于该极紫外光容器的内部的该影像来量化该极紫外光容器内的污染程度；其中该全景相机配置以储存于一卫星腔室中，该卫星腔室是保持在真空状态并且经由一闸阀门固定地耦合到该极紫外光容器的一侧；其中该全景相机配置以从该卫星腔室移动经由该闸阀门到该极紫外光容器的内部进行该单次拍摄，接着再从该极紫外光容器的内部移动回到该卫星腔室以储存于该卫星腔室内；其中该卫星腔室是固定于该极紫外光容器且不分离于该极紫外光容器。