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一种用于浸没式成像系统的浸没头
摘要文本
本发明提供一种用于浸没式成像系统的浸没头，包括镜筒、镜片和浸没头基座，镜片安装在镜筒中，浸没头基座与镜筒连接并可相对镜筒沿上下方向移动，浸没头基座设置有向上延伸的侧壁，侧壁配合设置在镜筒的外侧，侧壁与镜筒的外侧密封接触并可相对滑动，在浸没头基座相对所述镜筒上下移动的过程中，侧壁至少部分与镜筒的外侧密封接触；浸没头基座与镜筒之间设置有弹性件；当浸没头基座相对镜筒向上移动时，弹性件可为浸没头基座提供向下的缓冲弹力。本发明提供的用于浸没式成像系统的浸没头，能够在有效解决碰撞问题的同时，保证密封效果。
申请人信息
- 申请人:长春长光智欧科技有限公司
- 申请人地址:130000 吉林省长春市北湖科技开发区明溪路1759号C301室
- 发明人: 长春长光智欧科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于浸没式成像系统的浸没头 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201811020844.7 |
| 申请日 | 2018年9月3日 |
| 公告号 | CN108803256B |
| 公开日 | 2024年3月19日 |
| IPC主分类号 | G03F7/20 |
| 权利人 | 长春长光智欧科技有限公司 |
| 发明人 | 张继真; 谢晓麟; 管海军; 曲贺盟; 徐放 |
| 地址 | 吉林省长春市北湖科技开发区明溪路1759号C301室 |
专利主权项内容
1.一种用于浸没式成像系统的浸没头，包括镜筒、镜片和浸没头基座，所述镜片安装在所述镜筒中，其特征在于：所述浸没头基座与所述镜筒连接并可相对所述镜筒沿上下方向移动，所述浸没头基座设置有向上延伸的侧壁，所述侧壁配合设置在所述镜筒的外侧，所述侧壁与所述镜筒的外侧密封接触并可相对滑动，在所述浸没头基座相对所述镜筒上下移动的过程中，所述侧壁至少部分与所述镜筒的外侧密封接触；所述浸没头基座与所述镜筒之间设置有弹性件；当所述浸没头基座相对所述镜筒向上移动时，所述弹性件可为所述浸没头基座提供向下的缓冲弹力。