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用于光配向的掩膜板及用于光配向的掩膜组

申请号: CN201811344578.3
申请人: 成都京东方显示科技有限公司
申请日期: 2018年11月13日

摘要文本

本发明提供一种用于光配向的掩膜板及用于光配向的掩膜组,用于光配向的掩膜板包括至少一个掩膜图形区域,每个掩膜图形区域包括非连续部和位于非连续部两侧的连续部,连续部用于和其它掩膜板上的掩膜图形区域的连续部接续,连续部包括多个透光部和多个不透光部,透光部和不透光部沿掩膜板的横向交替排列;每个连续部中的透光部和与连续部接续的其他掩膜板的连续部的不透光部在掩膜板的板面上的投影相互重合,且不透光部和与连续部接续的其他掩膜板的连续部的透光部在掩膜板的板面上的投影相互重合。本发明的用于光配向的掩膜板及用于光配向的掩膜组能够解决由于在不同配向机台上进行光配向而导致的Mura问题。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 用于光配向的掩膜板及用于光配向的掩膜组
专利类型 发明授权
申请号 CN201811344578.3
申请日 2018年11月13日
公告号 CN109270743B
公开日 2024年2月13日
IPC主分类号 G02F1/1337
权利人 成都京东方显示科技有限公司
发明人 向旭; 洪孟逸
地址 四川省成都市双流区黄甲街道青栏路1778号

专利主权项内容

1.一种用于光配向的掩膜板,包括至少一个掩膜图形区域,其特征在于,每个所述掩膜图形区域包括非连续部和位于所述非连续部两侧的连续部,所述连续部用于和其它掩膜板上的掩膜图形区域的连续部接续,每个所述掩膜图形区域所包括的位于所述非连续部两侧的连续部相对于所述掩膜图形区域的纵向轴线呈轴对称图形;所述连续部包括多个透光部和多个不透光部,所述透光部和所述不透光部沿所述掩膜板的横向交替排列;每个所述连续部中的所述透光部和与所述连续部接续的其他掩膜板的连续部的不透光部在所述掩膜板的板面上的投影彼此互补,且所述不透光部和与所述连续部接续的其他掩膜板的连续部的透光部在所述掩膜板的板面上的投影彼此互补。