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测头可贴附的金属微观表面磨蚀性检测设备以及测量方法

申请号: CN201811221807.2
申请人: 四川大学
申请日期: 2018年10月19日

摘要文本

本发明公开了一种测头可贴附的金属微观表面磨蚀性检测设备以及测量方法,涉及材料磨蚀检测技术领域。该检测设备包括基座、位置调节组件、升降组件以及压头总成。位置调节组件可滑动的设置于基座,且用于调节样品的位置,压头总成固定设置于升降组件,升降组件可滑动的设置于基座,且使压头总成能够与样品配合。压头总成包括总成壳体、压模组件、电磁吸附体以及电子皮肤,电子皮肤与压模组件相贴。压模组件包括N平方个压头模组,压头模组以N×N的矩阵间隔分布,每个压头模组均包括压杆,压杆设置有顶尖,电磁吸附体通电能够使压杆挤压电子皮肤,且挤压力相同。该磨蚀性检测设备精度高,能够实现nm级的精确定位,快速、准确的获得其磨蚀性能。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 测头可贴附的金属微观表面磨蚀性检测设备以及测量方法
专利类型 发明授权
申请号 CN201811221807.2
申请日 2018年10月19日
公告号 CN109238900B
公开日 2024年2月27日
IPC主分类号 G01N3/56
权利人 四川大学
发明人 郭鑫; 赵武; 樊明浩; 陈领; 蒋薇; 万浩; 于淼; 张凯; 于泽源; 杜琳; 吴年汉
地址 四川省成都市一环路南一段24号

专利主权项内容

1.一种测头可贴附的金属微观表面磨蚀性检测设备,其特征在于,包括基座、位置调节组件、升降组件以及压头总成;所述位置调节组件可滑动的设置于所述基座,且用于调节样品的位置,所述压头总成固定设置于所述升降组件,所述升降组件可滑动的设置于所述基座,且使所述压头总成能够与样品配合;所述压头总成包括总成壳体、压模组件、电磁吸附体以及电子皮肤,所述压模组件、所述电子皮肤以及所述电磁吸附体依次设置于所述总成壳体,所述压模组件包括挤压端,所述电子皮肤与所述挤压端相贴;所述压模组件包括N平方个压头模组,所述压头模组以N×N的矩阵间隔分布,每个所述压头模组均包括压杆,所述压杆远离所述电子皮肤的一端设置有顶尖,所述电磁吸附体通电能够使所述压杆挤压所述电子皮肤,且每个所述压杆挤压所述电子皮肤的力相同;每个所述压头模组还包括第一限位盖、第二限位盖以及压壳,所述压杆依次包括第一限位端、杆体以及第二限位端;所述压杆穿设于所述压壳,所述第一限位盖与所述压壳的一端扣合,且所述第一限位端与所述第一限位盖配合,所述第二限位盖与所述压壳的另一端扣合,且所述第二限位端与所述第二限位盖配合;所述基座包括顶壁,所述顶壁设置有工作台,所述升降组件包括升降导轨和升降滑台,所述升降导轨与所述顶壁垂直,所述升降滑台可滑动的设置于所述升降导轨,所述位置调节组件设置于所述顶壁的背离所述升降滑台的一侧;所述升降导轨沿竖向开设有滑动槽,所述升降滑台通过导滑件可滑动的设置于所述滑动槽,所述压头总成固定设置于所述升降滑台的上表面,且使所述顶尖朝上设置。