半导体中红外可见光双波长透射式干涉测试装置
摘要文本
一种用于检测中红外光学元件、材料及光学系统的半导体中红外可见光双波长透射式干涉测试装置，包括双波段共光路准直输出模块、10.5μm半导体红外光干涉成像模块和635nm半导体可见光干涉成像测试对准模块，本发明装置可实现中红外测试精度PV值优于0.05λ，RMS优于0.01λ，系统重复性优于0.001λ的高分辨率干涉测试。
申请人信息
- 申请人:赵智亮; 成都太科光电技术有限责任公司
- 申请人地址:610041 四川省成都市科园一路3号
- 发明人: 赵智亮; 成都太科光电技术有限责任公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 半导体中红外可见光双波长透射式干涉测试装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201810070402.7 |
| 申请日 | 2018年1月24日 |
| 公告号 | CN108132026B |
| 公开日 | 2024年2月27日 |
| IPC主分类号 | G01B11/24 |
| 权利人 | 赵智亮; 成都太科光电技术有限责任公司 |
| 发明人 | 赵智亮; 陈立华; 赵子嘉; 葛瑞红; 廖伟; 李季根; 刘敏 |
| 地址 | 四川省成都市科园一路3号; 四川省成都市科园一路3号 |
专利主权项内容
1.一种半导体中红外可见光双波长透射式干涉测试装置，其特征在于包括双波段共光路准直输出模块、10.5 µm半导体红外光干涉成像模块和635 nm半导体可见光干涉成像测试对准模块：所述的双波段共光路准直输出模块包括635 nm半导体可见光光源(17)和10.5 µm半导体红外光源(10)，沿所述的10.5 µm半导体红外光源(10)的输出光束方向依次是第一扩束聚焦镜(9)、第一分光棱镜(5)、45°分光镜(4)、球面准直物镜(3)、双凸球面补偿镜(2)、标准反射球面镜(1)或标准平面楔镜(18)和标准反射镜，沿所述的635 nm半导体可见光光源(17)输出光束方向依次是第二扩束聚焦镜(16)、第二分光棱镜(11)、45°分光镜(4)、球面准直物镜(3)、双凸球面补偿镜(2)、标准球面镜(1)或标准平面楔镜(18)和标准反射镜；所述的球面准直物镜(3)、双凸球面补偿镜(2)、标准球面镜(1)或标准平面楔镜(18)和标准反射镜共光轴；所述的球面准直物镜(3)和所述的第一扩束聚焦镜(9)的数值孔径相等，且球面准直物镜(3)的焦点与所述的第一扩束聚焦镜(9)对所述的10.5 µm半导体红外光源(10)输出平行光聚焦焦点相重合；所述的球面准直物镜(3)与第二扩束聚焦镜(16)的数值孔径相等，且球面准直物镜(3)的焦点与第二扩束聚焦镜(16)的焦点相重合；所述的45°分光镜(4)在光束前进方向上第一面为楔角面，第二面为反射面，该45°分光镜(4)与球面准直物镜(3)的光轴成45°夹角，所述的10.5 µm半导体红外光源(10)的输出光束直接透过所述的45°分光镜(4)，所述的635 nm半导体可见光光源(17)的输出光束经所述的45°分光镜(4)反射输出，所述的标准反射球面镜(1)或标准平面楔镜(18)在光束前进方向上的第一面为楔角面，第二面为标准球面参考面或标准平面参考面，所述的标准球面镜(1)或标准平面楔镜(18)的标准球面参考面或标准平面参考面与所述的标准反射镜形成干涉测试腔，被测试光学元件置于标准球面镜(1)或标准平面楔镜(18)的标准球面参考面或标准平面参考面和所述的标准反射镜之间；所述的10.5 µm半导体红外光干涉成像模块，由沿原光路返回的干涉测试光方向依次的第一分光棱镜(5)、第一干涉成像镜组(6, 7)和红外探测器(8)组成，在干涉成像过程中，由所述的标准反射镜和被测试光学元件的反射光透过所述的标准球面镜(1)或标准平面楔镜(18)的标准球面参考面或标准平面参考面的测试光和由标准球面镜(1)或标准平面楔镜(18)的楔角面的反射光共同形成的沿原光路返回的干涉测试光，经45°分光镜(4)、第一分光棱镜(5)、第一干涉成像镜组(6, 7)和红外探测器(8)后成像于红外探测器(8)靶面上；所述的635 nm半导体可见光干涉成像及测试对准模块，由沿原光路返回的干涉测试光方向依次的第二分光棱镜(11)、第二凸透镜(12)、第二干涉成像镜组(13, 14)和可见光CCD(15)组成，在干涉成像过程中，由所述的标准反射镜和被测试光学元件的反射光透过所述的标准球面镜(1)或标准平面楔镜(18)的标准球面参考面或标准平面参考面的测试光和由标准球面镜(1)或标准平面楔镜(18)的楔角面的反射光共同形成的沿原光路返回的干涉测试光，经45°分光镜(4)、第二分光棱镜(11)、第二凸透镜(12)、第二干涉成像镜组(13, 14)和可见光CCD(15)后成像于可见光CCD(15)靶面上；测试对准光源是635 nm半导体可见光光源(17)，利用635 nm半导体可见光光源(17)对635 nm半导体可见光测试共光路和10.5 µm半导体红外光测试共光路对准；所述的标准反射镜为标准球面反射镜或标准平面反射镜；所述的10.5 µm半导体红外光源(10)为10.5 µm半导体红外激光器；所述的45°分光镜的楔角面为30分的楔角。