← 返回列表
一种实现晶圆与MASK取放和精确定位的旋转加热机构
摘要文本
本发明公开了一种实现晶圆与MASK取放和精确定位的旋转加热机构，包括双层升降机构、晶圆定位转筒、加热装置、旋转机构和定位机构，所述定位机构安装在旋转机构的底部，所述晶圆定位转筒安装在旋转机构的顶部，所述加热装置安装在晶圆定位转筒内部，所述双层升降机构设置在晶圆定位转筒的上方，底部与旋转机构的顶端固定连接。本发明将旋转、加热、晶圆和MASK的取放、晶圆和MASK精确定位等功能集合在同一机构中，实现了晶圆与MASK的自动精确定位功能。
申请人信息
- 申请人:成都华聚科技有限公司
- 申请人地址:610100 四川省成都市成都经济技术开发区(龙泉驿区)龙泉镇世纪大道515号7B1号
- 发明人: 成都华聚科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种实现晶圆与MASK取放和精确定位的旋转加热机构 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201810454513.8 |
| 申请日 | 2018年5月14日 |
| 公告号 | CN108385075B |
| 公开日 | 2024年2月2日 |
| IPC主分类号 | C23C14/50 |
| 权利人 | 成都华聚科技有限公司 |
| 发明人 | 潘明元; 陈新; 祝家太 |
| 地址 | 四川省成都市成都经济技术开发区(龙泉驿区)龙泉镇世纪大道515号7B1号 |
专利主权项内容
1.一种实现晶圆与MASK取放和精确定位的旋转加热机构，其特征在于：包括双层升降机构(1)、晶圆定位转筒(2)、加热装置(3)、旋转机构(4)和定位机构(5)，所述定位机构(5)安装在旋转机构(4)的底部，定位机构(5)包括驱动气缸(6)和定位轴(7)，所述驱动气缸(6)通过连接座(8)与定位轴(7)连接，驱动气缸(6)的气缸轴与旋转机构(4)底部连接，所述旋转机构(4)底部设置有定位孔，所述定位轴(7)与定位孔对齐且相互匹配，所述晶圆定位转筒(2)安装在旋转机构(4)的顶部，所述加热装置(3)安装在晶圆定位转筒(2)内部，晶圆定位转筒(2)顶部设置有若干定位销(9)，所述双层升降机构(1)包括升降柱(10)和双层托盘(11)，所述双层托盘(11)安装在升降柱(10)上，所述升降柱(10)的底端固定在旋转机构(4)顶部；所述双层托盘(11)由上到下依次为MASK托盘(12)和晶圆定位托盘(13)，所述晶圆定位托盘(13)上设置有与定位销(9)匹配的定位销孔(14)；升降柱(10)由驱动电机控制。