压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计

专利主权项内容

1.一种压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯，其特征在于，所述加速度计表芯包括：上极板、中间极板、下极板和振动台，所述中间极板位于所述上极板和所述下极板正中间，所述中间极板通过一根悬梁连接到固定位置，所述上极板与所述中间极板构成第一电容，所述下极板与所述中间极板构成第二电容，所述第一电容与所述第二电容构成一对差分电容；所述振动台包括反馈层和振动层，所述反馈层位于所述下极板下侧，所述振动层位于所述反馈层下侧；所述反馈层表面引出反馈输出正电极和反馈输出负电极，所述振动层表面引出驱动正电极和驱动负电极，所述驱动正电极是通过压电驱动正电极叠层引出端以叠层平面结构交叉分布在Z轴轴向连接正电极而组成；其中，以振动台轴向垂直方向定义为Z轴，与Z轴垂直的水平方向定义为X轴，与X轴及Z轴组成的平面垂直的方向定义为Y轴。