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一种光学元件体散射缺陷探测装置及探测方法
摘要文本
本申请提供一种光学元件体散射缺陷探测装置，光学元件为长方体结构，包括多个光束照射面；光学元件体散射缺陷探测装置包括光源、三维平移台、分光单元、照明系统及成像系统，光源用于发出光束L0；三维平移台用于承载和平移光学元件；分光单元用于将光束L0分为两束光束；照明系统用于将两束光束分为多束光束后垂直入射多个光束照射面，以形成多光束交叠照明区域；成像系统用于对多光束交叠照明区域进行成像。本申请提供的光学材料体散射缺陷探测装置及探测方法可实现对体缺陷多角度照明，从而获得材料体内大部分缺陷的清晰成像，对于判断材料质量具有重要参考价值。
申请人信息
- 申请人:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 申请人地址:621054 四川省绵阳市游仙区绵山路64号
- 发明人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种光学元件体散射缺陷探测装置及探测方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201810273557.0 |
| 申请日 | 2018年3月29日 |
| 公告号 | CN108490598B |
| 公开日 | 2024年3月19日 |
| IPC主分类号 | G02B21/06 |
| 权利人 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 发明人 | 王凤蕊; 周晓燕; 林宏奂; 刘红婕; 邓青华; 石兆华; 卓瑾; 吴之清; 邵婷; 蒋晓东; 黄进; 叶鑫; 李青芝; 孙来喜; 夏汉定 |
| 地址 | 四川省绵阳市绵山路64号 |
专利主权项内容
1.一种光学元件体散射缺陷探测装置，其特征在于，所述光学元件为长方体结构，包括多个光束照射面；所述光学元件体散射缺陷探测装置包括：三维平移台，用于承载和平移所述光学元件；光源，用于发出光束L0；分光单元，用于将所述光束L0分为两束光束；所述分光单元包括在所述光束L0的光路上依次设置的1/4波片和半反半透镜；照明系统，用于将所述两束光束分为多束光束后垂直入射所述多个光束照射面，以形成多光束交叠照明区域；所述照明系统包括第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜以及第四反射镜，所述第一反射镜用于将所述两束光束中的一束反射并垂直入射至所述光束照射面；所述第三反射镜用于将所述两束光束中的另一束反射并垂直入射至另一所述光束照射面；所述第一反射镜的中心和所述第二反射镜的中心的连线与所述光束照射面垂直；所述第三反射镜的中心和所述第四反射镜的中心的连线与另一所述光束照射面垂直；所述第二反射镜和所述第四反射镜为零度全反镜，以及成像系统，用于对所述多光束交叠照明区域进行成像；所述光学元件体散射缺陷探测装置还包括沿所述光束L0的光路依次设置的1/2波片及偏振分光棱镜。