自反馈密封腔气体取样装置及其应用

专利主权项内容

1.一种自反馈密封腔气体取样装置，其特征在于包括工作台，以及与工作台相连的上盖组件、样品载物台、密封穿刺组件、真空压力传感器，样品载物台通过上盖组件固定在工作台上，所述密封穿刺组件通过密封法兰盘与工作台连接，所述真空压力传感器通过密封法兰盘与工作台连接，上盖组件通过设置在上盖组件卡槽内的密封圈与工作台固定，并通过限位块固定在工作台上，在上盖组件的内腔中设置有样品载物台，样品载物台和上盖组件之间有相互连通的排气管路，在工作台两侧分别设置有两个真空截止阀，吹扫气接口连接第一真空截止阀，在取样接口也连接有第二真空截止阀；所述的上盖组件通过设置在上盖组件卡槽及密封圈卡槽内的密封圈密封，所述的上盖组件设置有真空接口，真空接口上设置有上盖组件真空截止阀，在上盖组件上部设置有步进电机，步进电机下方设置有密封上盖，在密封上盖的底部内侧设置有压力传感器，用于指示步进电机在密封过程中施加的静密封力大小，同时还用于穿刺组件刺破样品瞬间的动作反馈，在密封上盖外壁上设置有密封腔卡槽；所述样品载物台与所述工作台之间形成紧密密封，所述样品载物台由不同规格的适配块、适配片组合而成，所述适配片设置于适配片上，所述适配块之间紧密配合，适配块与内腔边缘之间形成排气槽，排气槽一端与真空接口连接，另一端与适配片所在位置连通。