一种用于降低薄板形材料离子束抛光时热应力的装置和方法
摘要文本
本发明公开了一种用于降低薄板形材料离子束抛光时热应力的装置，包括发射单元、蓝宝石板材、发热单元、散热底座、夹具及其定位机构，发射单元发射出离子束并在蓝宝石板材的被抛光表面形成光斑；加热阵列由多个发热单元紧凑排列而成；加热阵列的一面与散热底座压紧装配，另一面与薄板形状的蓝宝石板材的未加工面压紧装配；加热阵列与所述蓝宝石板材相接触的表面积不大于离子束在蓝宝石板材的被抛光表面形成的光斑的面积；散热底座、加热阵列和所述蓝宝石板材通过夹具及其定位机构实现安装和固定；采用本发明的降低薄板形材料离子束抛光时热应力的装置和方法，可有效避免光学材料特别是高热膨胀系数光学材料在抛光时因热应力而导致开裂的情况。
申请人信息
- 申请人:四川联合晶体新材料有限公司
- 申请人地址:620000 四川省绵阳市游仙区观太镇观音桥路118号
- 发明人: 四川联合晶体新材料有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于降低薄板形材料离子束抛光时热应力的装置和方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201811220508.7 |
| 申请日 | 2018年10月19日 |
| 公告号 | CN109262376B |
| 公开日 | 2024年2月27日 |
| IPC主分类号 | B24B1/00 |
| 权利人 | 四川联合晶体新材料有限公司 |
| 发明人 | 邱文; 黄小杰; 冷和杰; 邱一豇; 吴立昌 |
| 地址 | 四川省绵阳市游仙区观太镇观音桥路118号 |
专利主权项内容
1.一种用于降低薄板形材料离子束抛光时热应力的装置，包括发射单元、蓝宝石板材(1)、加热阵列(2)、散热底座(4)、夹具(5)及其定位机构，其特征在于：所述发射单元发射出离子束(7)并在所述蓝宝石板材(1)的被抛光表面形成光斑(6)；所述加热阵列(2)由多个发热单元(3)紧凑排列而成；所述加热阵列(2)的一面与散热底座(4)压紧装配，另一面与薄板形状的蓝宝石板材(1)的未加工面压紧装配；所述发热单元(3)与所述蓝宝石板材(1)相接触的表面积不大于所述离子束(7)在所述蓝宝石板材(1)的被抛光表面形成的光斑(6)的面积，每个所述发热单元(3)的加热功率可独立控制，每个所述发热单元(3)的加热功率与所述离子束(7)路线规划计算机联动；所述散热底座(4)、所述加热阵列(2)和所述蓝宝石板材(1)通过夹具(5)及其定位机构实现安装和固定，离子束(7)扫描实现光斑(6)所在位置的抛光作业，当离子束(7)根据离子束扫描计算机规划的路线进行光斑(6)轨迹移动时，离子束扫描计算机根据预定的轨迹路线，提前1-600秒降低光斑(6)所在位置的发热单元(3)的加热功率，直至停止加热。