一体式石英双振梁加速度计及制备方法
摘要文本
本发明的实施例公开了一种一体式石英双振梁加速度计及制备方法，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；挠性梁的上表面与质量块上表面之间的距离等于挠性梁的下表面与质量块下表面之间的距离，振梁的一端连接于装配区的上表面，另一端连接于质量块的上表面。该一体式石英双振梁加速度计一体成型，相比分体式具有结构紧凑、免装配、易加工的特点，另外采用双振梁，可以避免真空封装，在使用中更加稳定可靠，挠性梁位于质量块上下表面的中间，提高器件的灵敏度，挠性梁的厚度跟振梁的厚度可以不一致，增加了设计的自由度。
申请人信息
- 申请人:中国工程物理研究院电子工程研究所
- 申请人地址:621000 四川省绵阳市绵山路64号
- 发明人: 中国工程物理研究院电子工程研究所
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一体式石英双振梁加速度计及制备方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201811450018.6 |
| 申请日 | 2018年11月30日 |
| 公告号 | CN109254170B |
| 公开日 | 2024年2月9日 |
| IPC主分类号 | G01P15/097 |
| 权利人 | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 发明人 | 张照云; 唐彬; 刘显学; 苏伟; 高彩云; 沈朝阳; 熊壮; 许蔚; 彭勃 |
| 地址 | 四川省绵阳市绵山路64号 |
专利主权项内容
1.一种一体式石英双振梁加速度计，其特征在于，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，所述质量块通过所述挠性梁及所述振梁连接于所述装配区；其中，所述振梁包括第一直梁及第二直梁，所述第一直梁及所述第二直梁并列设置，所述第一直梁及所述第二直梁的一端连接于所述装配区，另一端连接于所述质量块，所述金属电极设置所述第一直梁及所述第二直梁上，所述第一直梁及所述第二直梁上的金属电极的极性相反；其中，所述挠性梁包括两个连接梁，两个连接梁位于所述振梁的两侧，所述挠性梁的一端连接于所述装配区，另一端连接于所述质量块；其中，所述挠性梁及振梁的厚度小于所述装配区及所述质量块的厚度；所述挠性梁的上表面与所述质量块上表面之间的距离等于所述挠性梁的下表面与所述质量块下表面之间的距离，所述振梁的一端连接于所述装配区的上表面，另一端连接于所述质量块的上表面；所述装配区及所述质量块为凹字形，所述凹字形的缺口为凹陷区，所述质量块位于所述装配区的凹陷区内，所述质量块的凹陷区朝向所述装配区的凹陷区；所述装配区与所述质量块的厚度相同。 （来源 马克数据网）