← 返回列表
一种集高压短脉冲预电离一体化高功率双极性脉冲形成电路
摘要文本
本发明公开了一种集高压短脉冲预电离一体化高功率双极性脉冲形成电路,该电路由负极性高压短脉冲形成电路、高功率负极性低压主脉冲形成电路、正极性低压脉冲形成电路和磁开关组成,利用负极性高压短脉冲来实现对等离子体负载预电离处理,双极性高功率脉冲用于靶材的溅射,可以即时适应负载阻抗变化的特点。集高压短脉冲预电离一体化高功率双极性脉冲形成电路输出高功率脉冲占空比远大于负极性高压预电离脉冲的占空比,提高了磁控溅射镀膜电源效率和靶材溅射镀膜效率、减小电源体积。用于解决电源体积较大、效率较低、靶粒子沉积速率低问题。 微信公众号马克 数据网
申请人信息
- 申请人:中国工程物理研究院流体物理研究所
- 申请人地址:621000 四川省绵阳市游仙区绵山路64号
- 发明人: 中国工程物理研究院流体物理研究所
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种集高压短脉冲预电离一体化高功率双极性脉冲形成电路 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201810115319.7 |
| 申请日 | 2018年2月6日 |
| 公告号 | CN108173450B |
| 公开日 | 2024年3月12日 |
| IPC主分类号 | H02M9/04 |
| 权利人 | 中国工程物理研究院流体物理研究所 |
| 发明人 | 李波; 赵娟; 李洪涛; 叶超; 黄宇鹏; 张信; 马勋; 冯元伟; 邓维军; 于治国; 康传会 |
| 地址 | 四川省绵阳市游仙区绵山路64号 |
专利主权项内容
1.一种集高压短脉冲预电离一体化高功率双极性脉冲形成电路,其特征在于由负极性高压短脉冲形成电路、高功率负极性低压主脉冲形成电路、正极性低压主脉冲形成电路和磁开关组成,高压预脉冲,正、负主脉冲输出脉冲电压幅值、脉冲宽度单独可控,互不干扰;所述集高压短脉冲预电离一体化双极性脉冲形成电路包括第一储能电容的两极各自连接到第一开关管和第二开关管,第一、第二开关管之间一次串联连接第一限流电阻和等离子体负载;第二储能电容的两极各自连接到第三开关管和第四开关管,第三、第四开关管之间一次串联连接第二限流电阻、第一磁开关、等离子体负载和第二磁开关;串联连接的第一磁开关和等离子体负载与保护电阻相互并联;第三储能电容的两极各自连接到第五开关管和第六开关管,第五、第六开关管之间一次串联连接保护二极管、第二磁开关、等离子体负载和第一磁开关。