一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置
摘要文本
本发明公开了一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，包括真空腔体及真空泵，还包括加热装置，所述加热装置包括底桶及压盖；还包括驱动部，所述驱动部用于驱动压盖沿着底桶开口端的朝向方向运动；还包括样品存储台，在所述压盖扣合于底桶开口端上时，所述样品存储台位于底桶与压盖两者所围成的空间内；还包括抓取转运部及闸门部，所述闸门部作为所述封闭空间与真空腔体外侧的通道；所述加热装置用于对底桶与压盖两者所围成的空间进行加热。该预处理装置不仅能够有效消除样品表面吸附气体与挥发性有机沾染物对材料二次电子发射特性测量的影响，同时其结构设计可有效避免样品由预处理腔转移至测量腔过程中受到二次污染。 马-克-数据
申请人信息
- 申请人:中国工程物理研究院流体物理研究所
- 申请人地址:621000 四川省绵阳市游仙区绵山路64号
- 发明人: 中国工程物理研究院流体物理研究所
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201811087187.8 |
| 申请日 | 2018年9月18日 |
| 公告号 | CN108896594B |
| 公开日 | 2024年2月6日 |
| IPC主分类号 | G01N23/2202 |
| 权利人 | 中国工程物理研究院流体物理研究所 |
| 发明人 | 何佳龙; 龙继东; 彭宇飞; 李杰; 杨振; 刘平; 王韬; 李喜; 董攀; 蓝朝晖; 郑乐; 刘尔祥; 赵伟; 杨洁; 石金水 |
| 地址 | 四川省绵阳市游仙区绵山路64号 |
专利主权项内容
1.一种材料二次电子发射特性测量样品预处理装置，包括具有封闭空间的真空腔体(14)及与所述封闭空间相连的真空泵(25)，还包括加热装置，其特征在于，所述加热装置包括呈桶状的底桶(10)及作为底桶(10)开口端封板的压盖(4)，所述加热装置位于所述封闭空间内；还包括安装于真空腔体(14)上的驱动部(22)，所述驱动部(22)通过运动传递件(2)与压盖(4)相连，所述驱动部(22)用于驱动压盖(4)沿着底桶(10)开口端的朝向方向运动；还包括安装在压盖(4)上的样品存储台(5)，在所述压盖(4)扣合于底桶(10)开口端上时，所述样品存储台(5)位于底桶(10)与压盖(4)两者所围成的空间内；还包括固定于真空腔体(14)上的抓取转运部(23)及闸门部(24)，所述闸门部(24)作为所述封闭空间与真空腔体(14)外侧的通道，且所述通道通断状态可调；在样品存储台(5)随压盖(4)在驱动部(22)的作用下由底桶(10)中移出后，所述抓取转运部(23)抓取样品存储台(5)上的样品，且抓取转运部(23)将所抓取的样品由所述闸门部(24)转运至封闭空间的外侧；所述加热装置用于对底桶(10)与压盖(4)两者所围成的空间进行加热。