一种折射式位移传感器及其测量方法

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本发明提供了一种折射式位移传感器及其测量方法，位移传感器包括：三角波反射镜，包括至少一个反射面，所述至少一个反射面沿移动方向依次分布；激光源，用于发射出激光束，且所述激光束入射至三角波反射镜的一个反射面；折射镜，用于接收所述反射面反射的激光束，并使接收的激光束发生折射；光电探测器，用于接收经折射镜折射的激光束，并测量其入射位置；处理系统，用于根据光电探测器接收到的激光束的入射位置变化量，计算出被测物体的位移变化值。本发明一种折射式位移传感器，通过折射镜的设置，可以使得在增加位移传感器放大倍数的同时，降低激光入射至光电探测器的角度，从而提高位移传感器的测量精度。