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体声波谐振器、滤波器和电子设备
摘要文本
本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极，与所述底电极对置，所述顶电极具有主体部以及与主体部连接的连接部；压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，压电层内掺杂有稀土元素；和钝化层，设置在顶电极上方，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域，所述钝化层邻近所述有效区域的边界、在所述连接部上方设置有至少一个第一断裂结构，所述压电层内掺杂有稀土元素。本发明还涉及一种具有上述谐振器滤波器，一种具有该滤波器的电子设备。 马-克-数据
申请人信息
- 申请人:天津大学; 诺思(天津)微系统有限责任公司
- 申请人地址:300072 天津市南开区卫津路92号
- 发明人: 天津大学; 诺思(天津)微系统有限责任公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 体声波谐振器、滤波器和电子设备 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201811355093.4 |
| 申请日 | 2018年11月14日 |
| 公告号 | CN111193489B |
| 公开日 | 2024年1月26日 |
| IPC主分类号 | H03H9/02 |
| 权利人 | 天津大学; 诺思(天津)微系统有限责任公司 |
| 发明人 | 张孟伦; 庞慰; 刘伯华; 杨清瑞 |
| 地址 | 天津市南开区卫津路92号; 天津市滨海新区天津开发区西区新业五街27号 |
专利主权项内容
1.一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极，与所述底电极对置，所述顶电极具有主体部以及与主体部连接的连接部；压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间；和钝化层，设置在顶电极上方，其中：声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域，所述钝化层的邻近所述有效区域的边界、在所述连接部上方的位置设置有至少一个第一断裂结构；且所述压电层内掺杂有稀土元素。