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用于玻璃载体晶片的低CTE硼铝硅酸盐玻璃
摘要文本
本发明涉及一种具有低脆性的低CTE硼铝硅酸盐玻璃，特别是用于在晶片级封装(WLP)应用使用，其具有以摩尔％计的如下组成：SiO2：60‑85，Al2O3：1‑17，B2O3：8‑20，Na2O：0‑5，K2O：0‑5，MgO：0‑10，CaO：0‑10，SrO：0‑10，BaO：0‑10，其中每个多面体的非桥接氧的平均数(NBO)等于或大于‑0.2且B2O3/Al2O3的比值等于或大于0.5，其中NBO定义为NBO＝2×Omol/(Simol+Almol+Bmol)‑4。本发明还涉及由低CTE硼铝硅酸盐玻璃制成的玻璃载体晶片及其作为玻璃载体晶片用于处理硅衬底的用途。本发明还涉及一种提供低CTE硼铝硅酸盐玻璃的方法。
申请人信息
- 申请人:肖特玻璃科技(苏州)有限公司
- 申请人地址:215009 江苏省苏州市新区科技工业园火炬路79号
- 发明人: 肖特玻璃科技(苏州)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 用于玻璃载体晶片的低CTE硼铝硅酸盐玻璃 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202210440425.9 |
| 申请日 | 2016年2月2日 |
| 公告号 | CN114751642B |
| 公开日 | 2024年2月23日 |
| IPC主分类号 | C03C3/091 |
| 权利人 | 肖特玻璃科技(苏州)有限公司 |
| 发明人 | 钱鹏翔; 后运飞; 薛军明; R·理拜德; 黑木浩 |
| 地址 | 江苏省苏州市新区科技工业园火炬路79号 |
专利主权项内容
1.一种用于玻璃晶片的具有低脆性的低CTE硼铝硅酸盐玻璃，所述硼铝硅酸盐玻璃为无碱玻璃，该无碱玻璃以摩尔％计的组成如下：每个多面体的非桥接氧的平均数(NBO)等于或大于-0.2并且等于或小于-0.167，并且BO/AlO的比值等于或大于0.5并且小于1，其中NBO定义为NBO＝2×O/(Si+Al+B)-4。2323molmolmolmol