一种硅太阳能低氧、低光衰单晶热场

专利主权项内容

1.一种硅太阳能低氧、低光衰单晶热场，包括拉晶炉的工作腔和设于工作腔内的石墨加热器，石墨加热器的瓣沿着工作腔的内部圆周设置而围括住用于盛放硅料的坩埚，其特征在于：所述石墨加热器采用对应于坩埚中上部的主加热器和对应于坩埚下部的副加热器，所述主加热器和副加热器分别由两个电源独立控制，所述副加热器位于主加热器的正下方，所述主加热器和副加热器的瓣所分别围括成的筒体同轴等径，且所述主加热器的瓣和副加热器的瓣之间具有间隙，在化料阶段，所述主加热器和副加热器同时开启工作，主加热器和副加热器的功率之比为2：1～3：1；在拉晶阶段，降低主加热器和副加热器的功率，且主加热器的功率大于副加热器的功率，使硅料处于结晶点，由主加热器主要控制整个拉晶时热场温度，从而使热对流强度减弱，以减缓石英埚的反应速度，降低由于石英埚与硅进行化学反应所产生的氧及杂质；所述主加热器的瓣为长短间隔设置，即长瓣和短瓣间隔设置，所述长瓣和短瓣分别为数对，每对中的两个长瓣相对设置，每对中的两个短瓣也相对设置。