一种气相可控型多晶硅还原炉

专利主权项内容

1.一种气相可控型多晶硅还原炉，所述还原炉包括底盘和炉体，炉体连接在底盘上且在炉体与底盘之间限定出反应器内腔，其特征在于，所述反应器内腔中设有多个电极，所述电极按规律布置在所述底盘上，所述底盘下设有双层进气系统和排气系统，所述炉体顶部设有预热系统，所述底盘上设有多个进气喷嘴，所述双层进气系统包含双层进气环管和与双层进气环管相连的多个进气管，所述进气管分别与多个喷嘴一一对应连接，所述底盘上设有多个出气口，所述排气系统包括出气盘管和与出气盘管相连的多个出气管，所述出气管分别与多个出气口一一对应连接，所述底盘上设有冷却水流道，所述冷却水流道包括设于底盘中心的进水口和多个排水口，所述排水口与多个出气口一一对应设置；所述炉体内设有高温水冷却腔，所述高温水冷却腔连接有高温冷却水进口和高温冷却水出口，所述高温冷却水进口位于所述炉体的底部，所述高温冷却水出口位于所述炉体的顶部；所述高温水冷却腔内由下至上环绕形成螺旋状冷却流道；所述排水口连接有低温冷却管，所述出气口连接有低温冷却尾气管，所述预热系统通过法兰连接在还原炉顶部；所述底盘上布置36对电极，36对电极按照混合型的方位布置，中心以正六边形展开，在该正六边的6 个顶点上设置6个电极孔；电极孔再以中心正六边形的六条边展开，再形成六个正六边形，其中展开六边形与中心六边形及相连六边形顶点共用，共计形成18个顶点，分布18个电极孔；中心电极共计12对，以六边形展开；外圈电极按环向对称紧凑布置，至少两圈环向布置，内圈12对电极孔，外圈12对电极孔，共计24对电极孔，和中心合计形成36对；即内圈按照六边形搭接，形成六边形等距硅芯；外圈环向硅芯按照环形对称搭接，形成环形等距硅芯；多个进气喷嘴的设置规则为：6个以底盘中心为心的正六边形中心处以及相邻的展开正六边形中心处，布置1+6个进气口；外圈的进气口与环向搭接的硅芯形成同心圆环向布置至少三圈，至少一个进气口分布在两两对应的硅芯周边；外圈任一环形的多个喷嘴和其相邻的圈上的电极沿用向交错布置；多个喷嘴通过多个进气管与所述双层进气环管相连接；7个正六边形的中心分别设有1个进气喷嘴，外圈的进气喷嘴与环向搭接的硅芯形成同心圆环向布置至少三圈；出气口按照内外圈组合布置, 均布在外圈硅芯同心圆上，形成对称布置。