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一种在线电镀碳处理系统和碳处理方法

申请号: CN201710562469.8
申请人: 上海新阳半导体材料股份有限公司
申请日期: 2017年7月11日

摘要文本

本发明公开了一种在线电镀碳处理系统和碳处理方法。该碳处理系统包括依次连接的电镀槽、碳处理系统和循环过滤系统,碳处理系统包括碳处理箱和顶部的自动加碳装置,碳处理箱顶部还设有LED光照系统,内部设有催化网;循环过滤系统包括由碳处理箱与碳粉过滤机连接形成的将碳粉回收循环至碳处理箱的第一循环回路,以及由碳粉过滤机与电镀槽连接形成的将电镀药水回收循环至所述电镀槽的第二循环回路;碳处理系统还包括自动排碳渣系统,其包括由碳处理箱和自动排碳渣装置连接形成的将滤液循环至碳处理箱形成的第三循环回路,自动排碳渣装置上还设有一碳渣排出口。本发明提供的碳处理系统处理效果好,操作方便快捷,可连续在线循环净化药水。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种在线电镀碳处理系统和碳处理方法
专利类型 发明授权
申请号 CN201710562469.8
申请日 2017年7月11日
公告号 CN109234786B
公开日 2024年1月5日
IPC主分类号 C25D21/06
权利人 上海新阳半导体材料股份有限公司
发明人 方书农; 马丽; 李涛
地址 上海市松江区思贤路3600号

专利主权项内容

1.一种在线电镀碳处理系统,其特征在于,其包括依次连接的一电镀槽、一碳处理系统和一循环过滤系统,所述碳处理系统用于在线吸附来自于所述电镀槽的电镀药水中的总有机碳,所述碳处理系统包括一碳处理箱和设置在所述碳处理箱的顶部、用于向所述碳处理箱中加入活性炭的一自动加碳装置,所述碳处理箱的顶部还设有一LED光照系统,所述碳处理箱的内部还分布有至少一层催化网,用于填充光催化剂;所述循环过滤系统包括由所述碳处理箱与一碳粉过滤机连接形成的将碳粉回收循环至所述碳处理箱的第一循环回路,以及由所述碳粉过滤机与所述电镀槽连接形成的将电镀药水回收循环至所述电镀槽的第二循环回路;所述在线电镀碳处理系统还包括一自动排碳渣系统,所述自动排碳渣系统包括由所述碳处理箱和一自动排碳渣装置连接形成的将滤液循环至所述碳处理箱形成的第三循环回路,所述自动排碳渣装置上还设有一碳渣排出口。