双功能反应设备

专利主权项内容

1.一种双功能反应设备，其特征在于，所述双功能反应设备包括：双功能反应炉、气源柜及排气柜；其中，所述双功能反应炉用于待处理基底表面材料层的生长及刻蚀，所述双功能反应炉包括：用于放置待处理基底的炉管；炉体，位于所述炉管外围；加热装置，位于所述炉体内，且位于所述炉管外围；与所述炉管内部相连通，且用于向所述炉管内通入生长气体或刻蚀气体的进气口组件；排气口，与所述炉管内部相连通；用于将所述炉管与外部连通或隔离，并向所述炉管内传入或传出所述待处理晶圆的炉门组件，所述炉门组件位于所述炉管的至少一端部；供气系统，位于所述气源柜内，所述供气系统包括进气管路及供气源，所述供气源用于提供所述生长气体或所述刻蚀气体，所述进气管路一端与所述进气口组件相连接，另一端与所述供气源相连接；排气系统，位于所述排气柜内，所述排气系统包括排气管路及动力泵，所述排气管路一端与所述排气口相连接，另一端与所述动力泵相连接；所述气源柜顶部设有第一排风口，所述气源柜内还设有第一风量调节板，所述第一风量调节板设置于所述第一排风口处；所述排气柜顶部设有第二排风口，所述排气柜内还设有第二风量调节板，所述第二风量调节板设置于所述第二排风口处；所述双功能反应炉还包括冷却装置，所述冷却装置包括：冷却管路，位于所述加热装置的外围，且与所述加热装置具有间距，所述冷却管路是位于所述炉体内的管路或环绕于所述炉体外的管路；冷媒源，与所述冷却管路相连通。。来自：马 克 团 队