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一种腐蚀机自旋转夹盘装置
摘要文本
本发明公开了一种腐蚀机自旋转夹盘装置，该夹盘装置用来安装蚀刻板的一面的边缘安装有若干帆状结构，用以接收蚀刻液的冲击力，带动夹盘旋转；所述帆状结构为中空结构，由左边的1/4球状外壳和右边的弧形部一体成型而成，所述弧形部由1/2圆管状外壳沿着对径向呈一定角度的方向切开所得。本发明在夹盘装置的边缘安装若干类似于船帆的帆状结构，利用蚀刻液对于帆状结构的定向冲击带动夹盘的旋转。由于帆状结构沿着夹盘的边缘呈周期性排布，所以夹盘在旋转的过程中能够保持均匀。
申请人信息
- 申请人:上海利正卫星应用技术有限公司
- 申请人地址:201108 上海市闵行区春光路99弄18号
- 发明人: 上海利正卫星应用技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种腐蚀机自旋转夹盘装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201710666898.X |
| 申请日 | 2017年8月7日 |
| 公告号 | CN107502893B |
| 公开日 | 2024年1月30日 |
| IPC主分类号 | C23F1/08 |
| 权利人 | 上海利正卫星应用技术有限公司 |
| 发明人 | 秦川穹; 李云良; 杨定宇 |
| 地址 | 上海市闵行区春光路99弄18号 |
专利主权项内容
1.一种腐蚀机自旋转夹盘装置，其特征在于，该夹盘装置用来安装蚀刻板的一面的边缘安装有若干帆状结构(3)，用以接收蚀刻液的冲击力，带动夹盘旋转；所述帆状结构(3)为中空结构，由左边的1/4球状外壳和右边的弧形部一体成型而成，所述弧形部由1/2圆管状外壳沿着对径向呈一定角度的方向切开所得；所述夹盘装置的中心处设有旋转轴，蚀刻过程中可以朝着某一个方向自旋转，并且旋转面是水平的；所述若干帆状结构(3)具有方向性，沿着夹盘边缘的方向形成一个闭合的周期圆形；所述帆状结构(3)的数量为6个。