可旋转的晶圆盒开盒器

专利主权项内容

1.一种可旋转的晶圆盒开盒器，其特征在于，包括：背板单元，所述背板单元上设置有装载口；装载单元，所述装载单元位于所述背板单元上，用于装载晶圆盒；开门单元，所述开门单元和所述装载单元分别位于所述背板单元的两侧，所述开门单元通过所述装载口对晶圆盒的盖体进行开闭作业；其中，所述背板单元包括背板组件、第二导轨组件和第二丝杠组件，所述第二导轨组件和所述第二丝杠组件分别设置在所述背板组件的前侧，且分别与所述开门单元连接，以带动所述开门单元沿着平行于背板单元的长度方向移动；所述装载单元包括基板组件和旋转组件，所述基板组件连接所述背板单元，所述旋转组件用于带动晶圆盒绕着背板单元的长度方向旋转；所述旋转组件包括载物台，所述载物台位于所述基板组件的上部；所述装载单元还包括第一充气组件和第二充气组件，所述第一充气组件和所述第二充气组件安装在所述基板组件的下部，所述载物台上分别设置有与所述第一充气组件和所述第二充气组件相配合的充气接口组件。