一种蚀刻机盖体装置

专利主权项内容

1.一种蚀刻机盖体装置，该盖体装置设于蚀刻机顶部，其特征在于，所述盖体装置由电机，以及安装在电机下方的多层圆盘结构，所述多层圆盘结构包括从下往上依次安装的最下方圆盘、中间圆盘和最上方圆盘，所述最下方圆盘为圆孔状结构，且相邻圆孔之间的距离为圆孔直径的3倍，圆孔按照一定的规律平行排列；所述中间圆盘为2个，采用圆孔状结构，孔的直径为最下层圆盘孔直径的10％-20％，且相邻圆孔之间的距离为圆孔直径的2倍，圆孔按照一定的规律平行排列，所述最上方圆盘为空心结构，且圆盘的下端由致密的丝网组成，丝网中设有改性活性炭，改性活性炭的粒度略微大于丝网的空隙直径；所述改性活性炭的制备过程为：将木质碎屑在350-400℃加热2-3小时，形成碳化物，之后以一定的升温速度将碳化物升温到800℃保温4-6小时得到活性炭；根据实际需要，将活性炭在KOH、Mg(NO3)2中浸泡高温浸泡数小时，冷却后形成化学改性活性炭；所述中间圆盘左右往复运动；所述最下方圆盘的四角上均设有安装蚀刻板的卡具；所述电机安装在最上方圆盘的上方，转轴端从上往下依次安装有一个最上方圆盘、两个中间圆盘和一个最下方圆盘；所述电机连接有一控制平台，用于在镁合金腐蚀时，通过控制电机带动多层圆盘结构旋转。