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环境监测系统
摘要文本
本发明实施例提供一种环境监测系统用于监测洁净室的环境参数。环境监测系统包括装载盒、运载单元以及处理器。装载盒包括壳体、无线通信模块以及传感器。传感器及无线通信模块设置于壳体内，其中传感器用以感测环境参数。运载单元包括导轨以及运载机构。导轨布设于洁净室内，运载机构被配置为拾取装载盒并沿着导轨运载装载盒。传感器随着装载盒于洁净室内移动并进行感测，以产生多个感测信息。处理器耦接无线通信模块，装载盒通过无线通信协议传送感测信息至处理器。 来自：马 克 团 队
申请人信息
- 申请人:台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址:中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
- 发明人: 台湾积体电路制造股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 环境监测系统 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201710176643.5 |
| 申请日 | 2017年3月23日 |
| 公告号 | CN108627196B |
| 公开日 | 2024年2月20日 |
| IPC主分类号 | G01D21/02 |
| 权利人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 发明人 | 黎辅宪; 董启峰; 沈香吟 |
| 地址 | 中国台湾新竹市 |
专利主权项内容
1.一种环境监测系统，用于监测洁净室的环境参数，其特征在于，包括：装载盒，包括壳体、无线通信模块、摄像机以及传感器，该传感器、该摄像机及该无线通信模块设置于该装载盒内并与该装载盒耦接，其中该传感器用以感测该环境参数，该装载盒为晶片或光掩膜装载盒；运载单元，包括导轨以及运载机构，该导轨布设于该洁净室内，该运载机构包括用于拾取该装载盒的升降手臂并沿着该导轨运载该装载盒，该传感器随着该装载盒于该洁净室内移动并进行感测，以产生多个感测信息，其中当该运载单元的升降手臂拾取该装载盒时，该运载单元与该装载盒电连接，以提供该装载盒所需的电力；处理器，耦接该无线通信模块，该装载盒通过无线通信协议传送该些感测信息至该处理器，其中该运载单元耦接该装载盒，以将该运载机构于多个位置的多个位置信息传送至该装载盒，并经由该无线通信模块传送至该处理器，其中所述升降手臂经配置以朝向或远离该些位置升降以放置或拾取该装载盒；以及多个装载盒存储站，分别设置于该些位置并用以提供对应的该多个位置信息及存储该装载盒。。马 克 数 据 网