一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置及方法

专利主权项内容

1.一种制造超大面积纳米压印无缝图案的装置，其特征在于：收卷辊用于将衬底卷收起来，放卷辊用于放出衬底，滚筒压印装置位于收卷辊和放卷辊之间，收卷辊与放卷辊工作时保持同步旋转，涂胶装置中含有光刻胶，用于在衬底上涂抹一层均匀的光刻胶，滚筒压印装置用于将压印模板上的微小图案压印于涂完胶的衬底上，支撑辊一，支撑辊二，支撑辊三，支撑辊四，均为可透光的圆柱形，支撑辊二，支撑辊三，支撑辊四中均放置有紫外固化装置，上述所有支撑辊均由石英制成，张力辊用于调节衬底之间的张力，使衬底处于紧绷状态；所述的滚筒压印装置的结构是：音圈电机一的轴与直线轴承一连接，音圈电机二的轴与直线轴承二连接，压印辊一通过直线轴承一与直线轴承四安装在卡盘一和卡盘二上，压印辊二通过直线轴承二与直线轴承五安装在卡盘一和卡盘二上，压印辊三通过直线轴承三和直线轴承六安装在卡盘一和卡盘二上，压印模板一包裹在压印辊一靠近音圈电机一的1/3处，压印模板二包裹在压印辊二的中部1/3处、压印模板三包裹在压印辊三的远离音圈电机二1/3处，每个压印模板的长度都统一相等，均为压印辊长度的1/3，直线轴承一、直线轴承二、直线轴承三均安装在卡盘一的凹槽中，直线轴承四、直线轴承五、直线轴承六均安装在卡盘二的凹槽中。