一种层结构质量块及其制作方法、加速度传感器及其制作方法

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本发明涉及传感设备领域，公开了一种层结构质量块及其制作方法、加速度传感器及其制作方法。本发明的层结构质量块包括至少两个片层，两个片层在厚度方向上层叠设置；至少两个片层采用不同的热膨胀系数的材料制成。层结构质量块的综合热膨胀系数可以由各片层的厚度及热膨胀系数确定，这样方便技术人员通过现有的两种及两种以上的材料制作出一个层结构质量块来达到所预期的热膨胀系数，而不必依赖于寻找某一单一材料或制备合金材料来使其接近预期的热膨胀系数。本发明的加速度传感器的制作方法包括通过上述的制作方法制出综合热膨胀系数等于适配于预期膨胀系数的层结构质量块，再与其他元件组装得到本发明的加速度传感器。