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一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘
摘要文本
本发明涉及一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，属于非球面镜抛光设备技术领域，包括底座、位于底座上的多个压电陶瓷驱动器和位于压电陶瓷驱动器上方的基盘，还包括多个弹性片，所述弹性片沿其径向安装于底座上表面，且其与压电陶瓷驱动器一对一设置，所述压电陶瓷驱动器沿其轴向安装于底座上表面，且其一端指向底座中心，所述弹性片与压电陶瓷驱动器指向底座中心的一端相抵，压电陶瓷驱动器对弹性片施加挤压力后，弹性片会产生沿其轴向的伸缩量，以改变基盘的面形，本发明增加了抛光盘的径厚比，结构紧凑，显著提高抛光盘在自转时的稳定性以及与工件的吻合性，成本低，有助于延长压电陶瓷驱动器的使用寿命。
申请人信息
- 申请人:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 申请人地址:621900 四川省绵阳市绵山路64号919-988信箱
- 发明人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201710149292.9 |
| 申请日 | 2017年3月14日 |
| 公告号 | CN107052947B |
| 公开日 | 2024年3月22日 |
| IPC主分类号 | B24B13/01 |
| 权利人 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 发明人 | 代万俊; 杨英; 薛峤; 陈良明; 胡东霞; 袁强; 张鑫; 王德恩; 赵军普; 张晓璐; 曾发; 王深圳; 张崑; 周维; 朱启华; 郑奎兴; 粟敬钦 |
| 地址 | 四川省绵阳市科学城绵山路64号 |
专利主权项内容
1.一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，包括底座、位于底座上的多个压电陶瓷驱动器和位于压电陶瓷驱动器上方的基盘，其特征在于：还包括多个弹性片，所述弹性片沿其径向安装于底座上表面，且其与压电陶瓷驱动器一对一设置，所述弹性片的顶部与基盘下表面相抵；所述压电陶瓷驱动器沿其轴向安装于底座上表面，且其一端指向底座中心，另一端处设有顶紧件，所述弹性片与压电陶瓷驱动器指向底座中心的一端相抵，压电陶瓷驱动器对弹性片施加挤压力后，弹性片会产生沿其轴向的伸缩量，以改变基盘的面形；所述底座下表面设有导电滑环，所述压电陶瓷驱动器为多个，所述压电陶瓷驱动器分为两圈错位设置，每一个压电陶瓷驱动器上都有一路加载在其上的电压源，各压电陶瓷驱动器通过导电滑环与各自的电压源连接。