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基板检测装置及其检测基板的方法
摘要文本
本发明提供了一种基板检测装置及其检测基板的方法，该基板检测装置包括：支撑组件以及气浮板；其中，支撑组件与气浮板之间通过弹性连接件连接，且支撑组件上设置有至少两个距离传感器；至少两个距离传感器用于检测气浮板的两个相对的边沿与支撑组件的距离；气浮板朝向被检测的基板的一面具有出气口；出气口与供气装置连接。在上述实施例中，当气浮板经过基板表面凸起或异物时，气浮板和基板之间的气压会发生变化，从而引起两者之间距离的变化，进而能够判断出基板表面凸起或异物的存在。
申请人信息
- 申请人:合肥欣奕华智能机器股份有限公司
- 申请人地址:230013 安徽省合肥市新站区龙子湖路与荆山路交口西南
- 发明人: 合肥欣奕华智能机器股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 基板检测装置及其检测基板的方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201711125164.7 |
| 申请日 | 2017年11月14日 |
| 公告号 | CN109782152B |
| 公开日 | 2024年3月12日 |
| IPC主分类号 | G01R31/28 |
| 权利人 | 合肥欣奕华智能机器股份有限公司 |
| 发明人 | 李言; 孙园林; 熊海军; 刘尧; 刘晏 |
| 地址 | 安徽省合肥市新站区龙子湖路与荆山路交口西南 |
专利主权项内容
1.一种基板检测装置，其特征在于，包括：支撑组件以及气浮板；其中，所述支撑组件与所述气浮板之间通过弹性连接件连接，且所述支撑组件上设置有至少两个距离传感器；至少两个所述距离传感器用于检测所述气浮板的两个相对的边沿与所述支撑组件的距离；所述气浮板朝向被检测的基板的一面具有出气口；所述出气口与供气装置连接；所述基板检测装置检测基板的方法包括以下步骤：通过支撑组件调整气浮板到基板上被检测面的距离；通过供气装置向所述气浮板上的出气口通气，并通过调整出气口的气流大小、进而调整气浮板与基板之间的气压大小，来调整气浮板到基板之间的距离；移动气浮板，并接收至少两个距离传感器检测的气浮板与支撑组件之间的距离数值，并在各距离传感器测量值变化量之间的差值大于设定值时，进行报警或停机。