一种集成电路12寸晶圆全自动传输热处理炉管
摘要文本
本发明公开了一种集成电路12寸晶圆全自动传输热处理炉管，包括上壳体，所述上壳体底部设有下壳体，所述上壳体内部设有热处理炉管，所述热处理炉管内部设有承载板，所述承载板底部设有温度传感器，所述热处理炉管两侧均设有进气管，所述热处理炉管一侧面设有加料口以及另一侧面设有测氧管，所述加料口侧面设有电子门，所述测氧管端部设有氧气含量检测仪。本发明通过将进气管倾斜设置，以便于使得热处理炉管内部的氮气呈螺旋状上升，从而利用氮气对晶圆进行搅拌，保证排胶效果及排胶过程中的温度均匀性，同时由于氮气的搅拌效果，使得热处理炉管内气氛更为均匀，缩短氮气置换时间，有效提高加工效率，使得本发明具有更高的实用性。
申请人信息
- 申请人:合肥真萍电子科技有限公司
- 申请人地址:230000 安徽省合肥市经济技术开发区轩辕路89号
- 发明人: 合肥真萍电子科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种集成电路12寸晶圆全自动传输热处理炉管 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201711187365.X |
| 申请日 | 2017年11月24日 |
| 公告号 | CN107768288B |
| 公开日 | 2024年2月9日 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 合肥真萍电子科技有限公司 |
| 发明人 | 安小敏; 刘汉东; 丁道路 |
| 地址 | 安徽省合肥市经济技术开发区轩辕路89号 |
专利主权项内容
1.一种集成电路12寸晶圆全自动传输热处理炉管，包括上壳体(1)，其特征在于：所述上壳体(1)底部设有下壳体(2)，所述上壳体(1)内部设有热处理炉管(3)，所述热处理炉管(3)内部设有承载板(4)，所述承载板(4)底部设有温度传感器(5)，所述热处理炉管(3)两侧均设有进气管(6)，所述热处理炉管(3)一侧面设有加料口(7)以及另一侧面设有测氧管(8)，所述加料口(7)侧面设有电子门(9)，所述测氧管(8)端部设有氧气含量检测仪(10)，所述测氧管(8)底部设有测氮管(11)，所述测氮管(11)端部设有氮气浓度检测仪(12)，所述测氮管(11)底部设有排气管(13)，所述测氧管(8)、测氮管(11)与排气管(13)内部均设有加热管(15)，所述测氧管(8)、测氮管(11)与排气管(13)上均设有电磁阀(16)，所述热处理炉管(3)底部设有固定底座(14)，所述热处理炉管(3)一侧设有床体(17)，所述床体(17)上设有传送带(18)，所述床体(17)顶部固定设有机械臂(19)，所述机械臂(19)设置为360度晶圆专用机械手臂，所述360度晶圆专用机械手臂端部设有电动夹具(20)，所述电动夹具(20)端部内侧设有弹性块(21)，所述弹性块(21)内部设有压力传感器(22)，所述床体(17)顶部设有传送开口(23)，所述下壳体(2)内部设有安装座(24)，所述安装座(24)上设有氧气罐(25)与氮气罐(26)，所述氮气罐(26)设于氧气罐(25)底部，所述氧气罐(25)与氮气罐(26)端部连接有连接管(27)，所述连接管(27)端部设有热风机(28)，所述下壳体(2)侧面设有检修门(29)，所述上壳体(1)侧面设有控制柜(30)，所述控制柜(30)内部设有移动终端(31)，所述移动终端(31)底部设有单片机(32)，所述控制柜(30)顶部设有声光报警器(33)；所述热处理炉管(3)内部采用镜面SUS316材质制成，所述连接管(27)设置为Y形，所述测氧管(8)、测氮管(11)与排气管(13)均由保温材料制成；所述进气管(6)设有两个，两个所述进气管(6)倾斜设置在热处理炉管(3)两侧，所述进气管(6)与热风机(28)通过管道连接。。来源：马 克 团 队