晶圆转移装置

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本发明公开了一种晶圆转移装置，其包括支撑台、托盘、第一机械臂和第二机械臂；所述支撑台设置有通孔，所述支撑台可升降地设置；所述托盘固定设置于所述支撑台下方，所述支撑台升降降过程中使所述托盘自所述通孔穿过；所述第一机械臂与所述第二机械臂可相互靠近及远离地设置，用于共同夹持晶圆；所述第一机械臂与所述第二机械臂设置于所述支撑台上方；所述第一机械臂与所述第二机械臂可升降并可水平移动地设置。本发明利用托盘固定、支撑台的升降取放晶圆，自动化程度高，可代替人工转移晶圆，劳动强度小且效率高，可适应大规模生产的需要。本发明使用导向装置，可确保各部件的运行稳定，防止损坏晶圆。