一种柔性基材镀厚膜用的镀膜设备及方法

专利主权项内容

1.一种柔性基材镀厚膜用的镀膜设备，其特征在于，沿柔性基材的输送方向，包括依次连接的放卷室、离子处理室、多个镀膜室和收卷室，离子处理室和多个镀膜室沿镀膜水冷辊的外周进行分布，放卷室和收卷室分别设于镀膜水冷辊的两侧；多个镀膜室中，位于中部的镀膜室中设置连续式蒸发镀膜源，其余各镀膜室中设置中频磁控靶；连续式蒸发镀膜源包括蒸发器、蒸发器挡板和镀料丝供料机构，蒸发器设于镀膜室底部，蒸发器的开口朝向柔性基材的表面，蒸发器挡板设于蒸发器的开口上方，镀料丝供料机构设于蒸发器的一侧，镀料丝供料机构向蒸发器中供应镀料丝；所述蒸发器包括蒸发源水冷座、蒸发源输入电极、蒸发舟、蒸发电极绝缘套和电极冷却水接咀，蒸发源水冷座为上部开口的箱体状结构，蒸发舟设于蒸发源水冷座内，蒸发舟底部设置蒸发源输入电极，蒸发源输入电极内设有冷却通道，冷却通道的入口处设有电极冷却水接咀，蒸发源输入电极与镀膜室外壁的相接处设有蒸发电极绝缘套；所述镀料丝供料机构包括镀料丝卷盘、送丝轮和送丝咀，镀料丝缠绕于镀料丝卷盘上，镀料丝卷盘的输出端设置送丝轮，送丝咀安装于蒸发源水冷座上，镀料丝沿送丝轮输出后，通过送丝咀送入蒸发源水冷座中；所述离子处理室中设有冷阴极线性离子源，冷阴极线性离子源包括冷阴极离子源座、气体接咀、磁铁、阴极、阴极绝缘套、辅助阳极、阳极绝缘套和栅板组件；冷阴极离子源座为上部开口的箱体状结构，气体接咀贯穿于冷阴极离子源座的底部，位于气体接咀外周的冷阴极离子源座底面设有磁体，阴极设于气体接咀的上端，气体接咀与冷阴极离子源座的连接处设有阴极绝缘套，位于阴极上方的冷阴极离子源座内壁设有辅助阳极，辅助阳极与冷阴极离子源座的连接处设有阳极绝缘套；冷阴极离子源座顶部设有栅板组件；所述放卷室与离子处理室的连接处设有大气隔离真空锁，多个镀膜室与收卷室的连接处也设有大气隔离真空锁；大气隔离真空锁包括压紧气缸、气缸密封座、隔离密封座和压紧密封胶辊，隔离密封座底部设有柔性基材通过用的基材通道，且位于基材通道上下两侧的隔离密封座底部设有圆柱状凹槽，圆柱状凹槽底部位于基材通道下方，圆柱状凹槽上部位于基材通道上方且与隔离密封座的内部空间想通，压紧密封胶辊设于隔离密封座的内部空间中，压紧密封胶辊顶部与压紧气缸的输出端连接，压紧气缸通过气缸密封座安装于隔离密封座上方；大气隔离真空锁闭合时，压紧密封胶辊的下部嵌入圆柱状凹槽中。。详见官网：