一种真空镀膜生产线及镀膜方法

专利主权项内容

1.一种镀膜方法，所述镀膜方法基于一真空镀膜生产线，其特征在于，所述真空镀膜生产线包括依次连接的入片室、镀膜室、出片室；所述入片室、所述镀膜室、所述出片室分别连接有入片室抽气机组、镀膜室抽气机组、出片室抽气机组；所述入片室的一端设置有第一真空锁，所述入片室和所述镀膜室之间设置有第二真空锁，所述镀膜室和所述出片室之间设置有第三真空锁，所述出片室的一端设置有第四真空锁；所述镀膜室内设置有靶组件和可作往复运动的镀膜室工件输送组件；所述镀膜方法包括：步骤A、准备阶段：关闭第一真空锁、第四真空锁，开启镀膜室抽气机组对自身进行预抽或预热，当完成预抽或预热后开启入片室抽气机组和出片室抽气机组，开启第二真空锁、第三真空锁对镀膜室抽气，待镀膜室气压小于第二预定气压时，关闭第二真空锁、第三真空锁，开启镀膜室抽气机组对镀膜室进行抽气；步骤B、镀膜过程：入片室放气完毕后，开启第一真空锁，将待镀膜的工件送入入片室，然后关闭第一真空锁；通过入片室抽气机组抽气，待入片室气压小于第二预定气压时，开启第二真空锁，将工件从入片室送入镀膜室，关闭第二真空锁；通过镀膜室抽气机组抽气，待镀膜室气压小于第三预定气压时充入工作气体，开启靶并开启镀膜室工件输送组件使工件在镀膜室内做往复运动完成镀膜；待出片室气压小于第二预定气压时，开启第三真空锁，将工件从镀膜室送入出片室，关闭第三真空锁；然后出片室放气完毕后，开启第四真空锁，将镀膜后的工件从出片室送出，关闭第四真空锁；其中，第三预定气压小于第二预定气压；所述入片室抽气机组包括：与所述入片室连接的入片室罗茨泵，以及与所述入片室罗茨泵连接的入片室粗抽泵；所述出片室抽气机组包括：与所述出片室连接的出片室罗茨泵，以及与所述出片室罗茨泵连接的出片室粗抽泵；所述入片室罗茨泵和所述出片室罗茨泵具有调速装置；所述入片室抽气机组还包括入片室负压罐，所述入片室负压罐的一端连接所述入片室罗茨泵，另一端连接所述入片室；所述出片室抽气机组还包括出片室负压罐，所述出片室负压罐的一端连接所述出片室罗茨泵，另一端连接所述出片室；所述入片室负压罐与所述入片室之间设置有入片室分流阀，所述入片室罗茨泵与所述入片室负压罐之间设置有入片室负压罐抽气阀，所述入片室罗茨泵上设置有入片室旁通阀，所述入片室罗茨泵与所述入片室之间设置有入片室粗抽阀；所述出片室负压罐与所述出片室之间设置有出片室分流阀，所述出片室罗茨泵与所述出片室负压罐之间设置有出片室负压罐抽气阀，所述出片室罗茨泵上设置有出片室旁通阀，所述出片室罗茨泵与所述出片室之间设置有出片室粗抽阀；所述镀膜室抽气机组包括：与所述镀膜室连接的精抽泵，与所述精抽泵连接的镀膜室罗茨泵，以及与所述镀膜室罗茨泵连接的维持泵；所述镀膜室罗茨泵与所述精抽泵之间设置有前置阀，所述精抽泵与所述镀膜室之间设置有精抽阀；所述步骤A具体包括：依次开启镀膜室抽气机组的维持泵、前置阀和镀膜室罗茨泵，开启所有精抽泵进行预抽或预热；当精抽泵达到工作条件后开启入片室粗抽泵、入片室粗抽阀，入片室旁通阀自动开启；开启出片室粗抽泵、出片室粗抽阀，出片室旁通阀自动开启；开启第二真空锁、第三真空锁，待镀膜室气压小于第一预定气压时开启入片室罗茨泵和出片室罗茨泵，入片室旁通阀和出片室旁通阀自动关闭；待镀膜室气压小于第二预定气压时，关闭第二真空锁、第三真空锁，开启所有精抽阀；其中，第二预定气压小于第一预定气压；所述步骤B具体包括：关闭入片室粗抽阀，控制入片室罗茨泵变慢速，开启入片室旁通阀，开启入片室负压罐抽气阀对入片室负压罐抽气；同时进行入片室放气，放气完毕后开启第一真空锁，将待镀膜的工件送入入片室；然后关闭第一真空锁，关闭入片室负压罐抽气阀，同时开启入片室粗抽阀和入片室分流阀，入片室分流阀开启预定时间后自动关闭；待入片室气压小于第一预定气压时，控制入片室罗茨泵变快速，关闭入片室旁通阀；待入片室气压小于第二预定气压时开启第二真空锁，将工件从入片室送入镀膜室，然后关闭第二真空锁；关闭入片室粗抽阀，控制入片室罗茨泵变慢速，开启入片室旁通阀，开启入片室负压罐抽气阀，同时进行入片室放气，然后开启第一真空锁，将下一待镀膜工件送入入片室进行下一个工作循环；待镀膜室气压小于第三预定气压时充入工作气体，开启靶并开启镀膜室工件输送组件使工件在镀膜室内做预定次数的往复运动完成镀膜，然后关闭靶，停止充入工作气体并关闭镀膜室工件输送组件；待出片室气压小于第二预定气压时开启第三真空锁，将镀膜后的工件从镀膜室送入出片室，然后关闭第三真空锁，镀膜室进入一个工作循环，同时关闭出片室粗抽阀，控制出片室罗茨泵变慢速，开启出片室旁通阀，开启出片室负压罐抽气阀对出片室负压罐抽气；同时进行出片室放气，开启第四真空锁，将镀膜后的工件从出片室送出，然后关闭第四真空锁，关闭出片室负压罐抽气阀，同时开启出片室粗抽阀和出片室分流阀，出片室分流阀开启预定时间后自动关闭；待出片室气压小于第一预定气压时，控制出片室罗茨泵变快速，关闭出片室旁通阀进入下一个工作循环。 来自马-克-数-据