大数值孔径浸油镜头检测装置及方法
摘要文本
本技术提供了一种大数值孔径浸油镜头波像差检测方法，光源发出的出射光束汇聚在准直透镜焦点位置的光栏上，光束经分光棱镜后，沿准直透镜以平行光束的方式出射，投射在标准平晶上；以标准平晶的入射面为参考平面，一部分光线沿参考平面原路反射，另一部分光线透过参考平面出射，透过被测镜头和介质油聚焦在焦点上，光束沿焦点点入射方向射入一超半球反射体，并返回，最后两束光线均通过分光棱镜反射，在出瞳位置形成两个明亮的小孔，通过调节标准平晶与检测镜头之间的空气楔，使得两个小孔的像重合，最后再通过CCD将小孔处的图像转换成电信号；所述超半球反射体以玻璃制成，其矢高大于超半球反射体半径R，超半球的外圆面镀全反射膜。
申请人信息
- 申请人:南京东利来光电实业有限责任公司
- 申请人地址:211132 江苏省南京市江宁区汤山工业集中区纬二路7号
- 发明人: 南京东利来光电实业有限责任公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 大数值孔径浸油镜头检测装置及方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201710226421.X |
| 申请日 | 2017年4月9日 |
| 公告号 | CN106895963B |
| 公开日 | 2024年1月26日 |
| IPC主分类号 | G01M11/02 |
| 权利人 | 南京东利来光电实业有限责任公司 |
| 发明人 | 赵跃东 |
| 地址 | 江苏省南京市江宁区汤山工业集中区纬二路7号 |
专利主权项内容
1.大数值孔径浸油镜头波像差检测方法，大数值孔径浸油镜头的数值孔径大于1，光源(1)发出的出射光束汇聚在准直透镜焦点位置的光栏(4)上，光束经分光棱镜(6)后，沿准直透镜(7)以平行光束的方式出射，投射在标准平晶(8)上；其特征是：将超半球反射体(14)平面方向与被测镜头(9)最前片保持平行，超半球反射体(14)的光轴与被测镜头(9)的光轴共轴，调节准直光束经被测镜头(9)的焦点，直到被测镜头(9)的焦点与超半球反射体(14)的球心位置重合；以标准平晶(8)的入射面为参考平面，一部分光线沿参考平面原路反射，另一部分光线透过参考平面出射，透过被测镜头(9)和介质油(15)聚焦在被测镜头(9)的焦点上，光束沿焦点点入射方向射入一超半球反射体(14)，并返回，最后两束光线均通过分光棱镜反射，在出瞳位置(12)形成两个明亮的小孔，通过调节标准平晶(8)与被测镜头(9)之间的空气楔，使得两个小孔的像重合，最后再通过CCD将小孔处的图像转换成电信号；所述超半球反射体(14)以玻璃制成，其矢高大于超半球反射体半径R，超半球反射体的外圆面镀全反射膜。