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一种电动汽车用IGBT或MOSFET版图结构

申请号: CN201711408786.0
申请人: 江苏宏微科技股份有限公司
申请日期: 2017年12月22日

摘要文本

数据由马 克 数 据整理 。本发明属于电动汽车晶体管技术领域,尤其涉及一种电动汽车用IGBT或MOSFET版图结构。其包括IGBT或MOSFET版,所述IGBT或MOSFET版上间隔设置若干列沟槽,所述同一列沟槽重复断开,所述同一列沟槽断开间距0.6um,所述同一列沟槽断开间距的中间设置发射极接触孔,所述发射极接触孔与相邻所述沟槽之间的间距0.2um,相邻两列所述沟槽错位设置并横向连接,相邻两列所述沟槽之间的间距为0.2um。本发明通过沟槽以及发射极接触孔的版图设计使得元胞尺寸缩小,沟道密度增加,从而电流密度大大提高,IGBT或MOSFET的芯片尺寸可大大减小,从而成本降低,同时整个设计的余量也会更加充分。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种电动汽车用IGBT或MOSFET版图结构
专利类型 发明授权
申请号 CN201711408786.0
申请日 2017年12月22日
公告号 CN107942615B
公开日 2024年3月22日
IPC主分类号 G03F1/50
权利人 江苏宏微科技股份有限公司
发明人 井亚会; 戚丽娜; 俞义长; 张景超; 林茂; 刘利峰; 赵善麒
地址 江苏省常州市新北区华山中路18号

专利主权项内容

1.一种电动汽车用IGBT或MOSFET版图结构,其特征在于:包括IGBT或MOSFET版,所述IGBT或MOSFET版上间隔设置若干列沟槽,同一列沟槽重复断开,所述同一列沟槽断开间距0.6um,所述同一列沟槽断开间距的中间设置发射极接触孔,所述发射极接触孔与相邻所述沟槽之间的间距为0.2um,相邻两列所述沟槽错位设置并横向连接,相邻两列所述沟槽之间的间距为0.2um;第n列所述沟槽的顶端与第n+1列所述的沟槽的底端连接,第n+1列所述的沟槽的顶端连接第n+2列所述沟槽的中部,所述第n+2列的沟槽的顶端与第n+3列所述的沟槽的底端连接,第n+3列所述的沟槽的顶端连接第n+4列所述沟槽的中部,以此类推构成二维排布沟槽;所述沟槽的长度大于1.6um,且小于10um。