一种反应除杂提纯氯硅烷的工艺

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本发明公开了一种反应除杂提纯氯硅烷的工艺，包括将液相或汽化后的氯硅烷首先通入除杂反应器，经过反应除杂处理，处理后的物料再通入精馏塔去除重组分，得到提纯后的氯硅烷；其中，所述的除杂反应器内填充氧化性无机盐。本发明不仅能够将ppb级别的硼、磷杂质进一步脱除至ppt级别，相对于物理吸附法除杂，其流程更加简单，反应器设备小巧，投资大幅度降低，并且活性物质易得且廉价，更换简易，环境友好，运行成本极低。