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一种生产硅的装置和方法

申请号: CN201710589517.2
申请人: 江苏中能硅业科技发展有限公司
申请日期: 2017年7月18日

摘要文本

本发明公开了一种生产硅的装置和方法,该装置包括:感应外筒和尾气内筒;包围在感应外筒外部的隔热层;环绕感应外筒的感应加热线圈,所述感应加热线圈能够将感应外筒的至少一部分加热到等于或高于硅熔点的温度;进气口,以及位于感应外筒和尾气内筒下方的接收装置;感应外筒和尾气内筒之间形成环隙,感应外筒的内壁和尾气内筒的外壁为圆弧状,所述进气口方向与所述感应外筒的内壁的切向方向相同。本发明增加反应面积,大幅提高转化率,并能够实现直接将卤硅化合物原料气转变为熔融液体硅,操作工序简单,且允许液态硅材料直接输送到下游的铸锭工序、直拉单晶工序或制备硅片等工序,缩短由多晶硅熔融铸锭制造硅片的流程,极大降低多晶硅生产成本。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种生产硅的装置和方法
专利类型 发明授权
申请号 CN201710589517.2
申请日 2017年7月18日
公告号 CN109264724B
公开日 2024年1月5日
IPC主分类号 C01B33/029
权利人 江苏中能硅业科技发展有限公司
发明人 蒋立民; 胡开达; 王小军
地址 江苏省徐州市经济技术开发区协鑫大道66号

专利主权项内容

1.一种生产硅的方法,该方法所用装置包括:感应外筒和尾气内筒;包围在感应外筒外部的隔热层;环绕感应外筒的感应加热线圈,所述感应加热线圈能够将感应外筒的至少一部分加热到等于或高于硅熔点的温度;进气口,以及位于感应外筒和尾气内筒下方的接收装置;其特征在于,感应外筒和尾气内筒之间形成环隙,感应外筒的内壁和尾气内筒的外壁为圆弧状,所述进气口方向与所述感应外筒的内壁的切向方向相同;含硅原料气通过所述进气口从切向方向进入硅生产装置的环隙,围绕感应外筒的内壁旋转,在高温的环境下发生反应,生成的硅产品在感应外筒下部由于速度差而气液分离,液体由接收装置收集,尾气经尾气内筒排出。