多分辨率光谱仪

专利主权项内容

1.一种多分辨率光谱仪，包括：入射狭缝，布置用于接收入射光束；准直装置，布置用于对来自入射狭缝的光束进行准直；色散装置，布置用于对经过准直装置准直的光束进行分色，以形成具有不同波长的多个子光束；成像装置和阵列式光子探测器，所述成像装置布置用于将所述多个子光束分别成像在所述阵列式光子探测器上，所述阵列式光子探测器用于将成像到其上的多个子光束的光信号转换成电信号，所述电信号用于形成光谱图；其中，所述入射狭缝具有第一狭缝部分和第二狭缝部分，所述第二狭缝部分具有比第一狭缝部分更大的宽度，其中，所述色散装置布置成将所述多个子光束在第一方向上分离开，所述阵列式光子探测器具有多列探测单元，其中每列探测单元沿着与第一方向垂直的第二方向布置，且其中所述多个子光束中的每个子光束在所述阵列式光子探测器上形成的同一图案包括分别对应于第一狭缝部分和第二狭缝部分的第一图案部分和第二图案部分，所述第二图案部分具有比第一图案部分更大的宽度，相邻的第二图案部分的中心之间的间距与相邻的第一图案部分的中心之间的间距是相同的。