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一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置
摘要文本
一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置，属于等离子体技术领域，用于在基材表面制备聚合物涂层。该装置中固定金属直杆通过绝缘基座沿真空室轴向等间距固定连接在真空室内壁上，固定金属直杆经导线串联连接构成固定电极；转动金属直杆沿真空室轴向等间距固定连接在金属转架上，构成转动电极；固定电极连接高频电源输出端，转动电极接地。工作时，开启高频电源使之连续输出高频功率，并使转动电极转动。转动电极的周期性靠近和远离固定电极，从而产生周期性燃灭的等离子体。本发明的高频电源不需要脉冲调制，结构简单、价格低、调试容易；等离子体稳定性好；放电电极结构和加工装配精度要求较低，工艺重复性好。
申请人信息
- 申请人:江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号
- 发明人: 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201710330463.8 |
| 申请日 | 2017年5月11日 |
| 公告号 | CN106961779B |
| 公开日 | 2024年2月2日 |
| IPC主分类号 | H05H1/46 |
| 权利人 | 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司 |
| 发明人 | 宗坚 |
| 地址 | 江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号 |
专利主权项内容
1.一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置，其特征在于：该装置包括真空室(1)、固定电极、转动电极；所述真空室上安装有载体气体和单体蒸汽管路(9)及排气管(10)，待处理的基材(8)放置于真空室内转动电极围成的空间内； 所述固定电极包括一组固定金属直杆(2)、一组绝缘基座(3)和导线(4)，固定金属直杆(2)通过绝缘基座沿真空室轴向等间距固定连接在真空室内壁上，固定金属直杆(2)经导线串联连接构成固定电极；所述转动电极包括一组转动金属直杆(5)和金属转架(6)，所述金属转架的旋转轴与真空室的中心轴同轴，金属转架可绕旋转轴转动；所述转动金属直杆(5)沿真空室轴向等间距固定连接在金属转架上，构成转动电极； 所述固定电极与转动电极构成定转电极组; 所述固定电极所在的柱面与转动电极所在的柱面之间的距离为1-5cm；所述固定电极连接高频电源(7)输出端，所述转动电极接地；所述高频电源的频率范围为10kHz-100MHz，所述高频电源输出的电压波形为正弦波或方波。