一种硅片顶升梳齿机构
摘要文本
本发明公开了一种硅片顶升梳齿机构，包括：梳齿组件；以及用于驱动所述梳齿组件升降的顶升组件，其中，所述梳齿组件包括支撑架以及由该支撑架所支撑的梳齿，梳齿设有两组且相互平行间隔地设置，该梳齿由若干片梳齿片从左至右依次紧挨排列而成，梳齿片包括位于底部的基部及与基部相固接的延展部，该延展部的厚度小于基部的厚度，延展部相对于基部的一侧偏置设置从而使得相邻两片延展部间形成有沿竖直方向延伸的让位槽，延展部的顶部开设有沿竖直方向延伸的顶升槽。根据本发明，其在提高硅片插片取片效率的同时，还能够通过提高对硅片支撑力度均匀性来减少在转移过程中的破损率，提高了生产效率，降低了生产成本。
申请人信息
- 申请人:罗博特科智能科技股份有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市工业园区唯亭镇葑亭大道598号
- 发明人: 罗博特科智能科技股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种硅片顶升梳齿机构 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201710602533.0 |
| 申请日 | 2017年7月21日 |
| 公告号 | CN107482082B |
| 公开日 | 2024年3月15日 |
| IPC主分类号 | H01L31/18 |
| 权利人 | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
| 发明人 | 张学强; 戴军; 张建伟; 贾宇鹏 |
| 地址 | 江苏省苏州市工业园区唯亭镇葑亭大道598号 |
专利主权项内容
1.一种硅片顶升梳齿机构(1)，其特征在于，包括：梳齿组件；以及用于驱动所述梳齿组件升降的顶升组件，其中，所述梳齿组件包括支撑架(13)以及由该支撑架(13)所支撑的梳齿(15)，梳齿(15)设有两组且相互平行间隔地设置，该梳齿(15)由若干片梳齿片(151)从左至右依次紧挨排列而成，梳齿片(151)包括位于底部的基部(1511)及与基部(1511)相固接的延展部(1512)，该延展部(1512)的厚度小于基部(1511)的厚度，延展部(1512)相对于基部(1511)的一侧偏置设置从而使得相邻两片延展部(1512)间形成有沿竖直方向延伸的让位槽(152)，延展部(1512)的顶部开设有沿竖直方向延伸的顶升槽(1512a)；所述顶升槽(1512a)的底部设有向梳齿(15)内侧倾斜的安放斜面，所述安放斜面与水平面的夹角为30°～60°；所述顶升槽(1512a)的深度不大于让位槽(152)的深度；所述让位槽(152)的厚度不小于顶升槽(1512a)的厚度；假定石英舟上的相邻硅片安装槽的间距为h，相邻让位槽(152)之间的距离为H，则有H＝2h，插片时，石英舟放置于梳齿组件的正上方，梳齿(15)位于最低位处。