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全自动量产型纳米压印装置

申请号: CN201710354737.7
申请人: 苏州光舵微纳科技股份有限公司
申请日期: 2017年5月18日

摘要文本

本发明公开了一种全自动量产型纳米压印装置,包括:底座,底座上设有导轨;多个纳米压印机构,纳米压印机构设置于底座上且分布于导轨长度方向的两侧;供料机构,包括料片供料机构和软膜板供料机构,料片供料机构和软膜板供料机构设置于底座上且位于导轨长度方向的一侧;物料移载机构,物料移载机构移动设置于导轨上,用于将料片和软膜板在供料结构和纳米压印机构之间搬运。本发明相较于现有技术,物料移载机构将料片和软膜板在供料结构和纳米压印机构之间搬运,结构合理,省却人力,实现自动搬运料片和软膜板、以及自动压印,多个纳米压印机构同时工作,大大提高工作效率。

专利详细信息

项目 内容
专利名称 全自动量产型纳米压印装置
专利类型 发明授权
申请号 CN201710354737.7
申请日 2017年5月18日
公告号 CN107132728B
公开日 2024年3月26日
IPC主分类号 G03F7/00
权利人 苏州光舵微纳科技股份有限公司
发明人 刘晓成; 史晓华
地址 江苏省苏州市常熟市虞山高新区建业路2号常熟先进制造业科技园7C幢1、2楼

专利主权项内容

1.全自动量产型纳米压印装置,其特征在于,包括:底座,底座上设有导轨;多个纳米压印机构,纳米压印机构设置于底座上且分布于导轨长度方向的两侧;供料机构,包括料片供料机构和软膜板供料机构,料片供料机构和软膜板供料机构设置于底座上且位于导轨长度方向的一侧;物料移载机构,物料移载机构移动设置于导轨上,用于将料片和软膜板在供料结构和纳米压印机构之间搬运;物料移载机构包括安装基座、驱动机构、二连接曲柄机构和定位组件,安装基座移动设置于导轨上,二连接曲柄机构对称设置于安装基座上,二连接曲柄机构包括第一连接臂和第二连接臂,第一连接臂长度方向的一端转动设置于安装基座上,第二连接臂长度方向的一端转动设置于第一连接臂上,定位组件包括定位底座、料片取料组件和软膜板取料组件,定位底座与二第二连接臂的自由端铰接,料片取料组件、软膜板取料组件设置于定位底座上,驱动机构与第一连接臂、第二连接臂连接用于驱动二第一连接臂绕其与安装基座的连接点沿同一圆周方向转动、以及用于驱动二个第二连接臂绕其与第一连接臂的连接点沿相反的圆周方向转动;软膜板取料组件包括吸盘手指,吸盘手指为电磁吸铁机构或真空吸附机构;吸盘手指包括吸盘底板和电磁线圈,吸盘底板内开设有安装腔体,电磁线圈设置于安装腔体内,电磁线圈与变频电源连接;或吸盘手指包括吸盘底板,吸盘底板的底部开设有吸附气孔,吸盘底板内开设有连通吸附气孔的连接通道,连接通道与真空泵连接。