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一种用于人工晶体生长的装置

申请号: CN201710728718.6
申请人: 江苏星特亮科技有限公司
申请日期: 2017年8月23日

摘要文本

本发明公开了一种用于人工晶体生长的装置,包括托盘、固设于托盘上的与其同轴分布的转轴、多个以托盘的轴心线为环绕中心的环设于托盘上的坩埚、用于驱动转轴绕自身轴心线方向转动的第一驱动机构、用于驱动多个坩埚分别绕自身轴心线方向转动的设于托盘上的第二驱动机构。本发明一种用于人工晶体生长的装置,通过设置第一驱动机构驱动托盘带动多个坩埚在热场中公转;同时通过设置第二驱动机构驱动多个坩埚在热场中自转,使各坩埚和坩埚各部位的受热情况保持均匀,提高了人工晶体的生长质量和生长效率。 来自马-克-数-据-官网

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种用于人工晶体生长的装置
专利类型 发明授权
申请号 CN201710728718.6
申请日 2017年8月23日
公告号 CN107687026B
公开日 2024年2月13日
IPC主分类号 C30B35/00
权利人 江苏星特亮科技有限公司
发明人 李留臣; 周正星; 王建康; 孟德
地址 江苏省苏州市张家港市杨舍镇东莱东黎路8号(星特亮)

专利主权项内容

1.一种用于人工晶体生长的装置,其特征在于:包括托盘、固设于所述托盘上的与其同轴分布的转轴、多个以所述托盘的轴心线为环绕中心的环设于所述托盘上的坩埚、用于驱动所述转轴绕自身轴心线方向转动的第一驱动机构、用于驱动多个所述坩埚分别绕自身轴心线方向转动的设于所述托盘上的第二驱动机构;所述第一驱动机构包括环设于所述转轴外侧周部的第一带轮、用于驱动所述第一带轮转动的第一电机;所述第二驱动机构包括设于所述托盘上的与多个所述坩埚一一对应的同轴固定分布的第二带轮、张紧在多个所述第二带轮之间的用于带动多个所述第二带轮绕自身轴心线方向转动的第一传送带、设于所述托盘上的与其中一个所述第二带轮同轴固定分布的从动轮、设于所述托盘上的与所述从动轮通过第二传送带传动连接的主动轮、用于驱动所述主动轮绕自身轴心线方向转动的第二电机;工作时:启动所述第一电机,通过所述第一带轮带动所述转轴和所述托盘转动,使得多个所述坩埚在热场中公转;同时启动所述第二电机,通过所述主动轮带动所述从动轮转动,所述从动轮带动对应的所述第二带轮在热场中自转,所述第二带轮再通过所述第一传送带带动其余的所述第二带轮在热场中自转。