一种多官能单体化合物及其制备方法和感光性树脂组合物

摘要文本

本公开涉及一种多官能单体化合物及其制备方法和感光性树脂组合物，该化合物具有式(1)所示的结构；本公开的多官能单体化合物能够在显影工序中遇水产酸，促进未曝光部位的显影；而对于已曝光部位，该多官能单体化合物能够参与聚合，与光刻胶组合物中的其他可聚合成分交联成为网状结构，不会因产酸而影响树脂固化膜的稳定性，同时该多官能单体化合物水解后产生的化合物中含有硅羟基，还可以增加树脂固化膜与玻璃基板的附着力。同时，由于多官能单体化合物本身不具备酸性，比一般含有小分子酸或酸性物质作为显影助剂的彩色光刻胶的储存稳定性有显著提高。