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光栅尺光电传感器
摘要文本
本发明提供一种光栅尺光电传感器，其包括：光敏感单元阵列、读取电路，光敏感单元阵列包括多个光敏感单元，每个光敏感单元上覆盖有栅状金属层。本发明的优点在于将光栅尺的指示光栅以栅状金属层的方式直接集成在光电传感器上，能够节约光栅尺制造成本，提高生产效率，提高指示光栅制造精度。 微信公众号马克数据网
申请人信息
- 申请人:长光(沧州)光栅传感技术有限公司
- 申请人地址:061000 河北省沧州市运河区高新技术开发区运河园区内渤海路南侧车间三层
- 发明人: 长光(沧州)光栅传感技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 光栅尺光电传感器 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201710937870.5 |
| 申请日 | 2017年10月11日 |
| 公告号 | CN107560546B |
| 公开日 | 2024年1月19日 |
| IPC主分类号 | G01B11/00 |
| 权利人 | 长光(沧州)光栅传感技术有限公司 |
| 发明人 | 温琚玲 |
| 地址 | 河北省沧州市运河区高新技术开发区运河园区内渤海路南侧车间三层 |
专利主权项内容
1.一种光栅尺光电传感器，包括光敏感单元阵列(1)、读取电路(2)，其特征在于：光敏感单元阵列(1)包括由N个大小相同的光敏感单元组成，其中N为4的整数倍，光敏感单元上覆盖有栅状金属层，栅状金属层由金属线等间距排列组成，金属线具有不透射光的特性；所述栅状金属层的金属线宽度Wl与光栅尺光电传感器所对应的标尺光栅增量码道刻线宽度W2的关系为q×W2= (q+ 1) ×Wl，栅状金属层的栅距Dl与光栅尺光电传感器所对应的标尺光栅增量码道栅距D2的关系为q×D2=(q+l) ×Dl，其中q为正整数，相邻栅状金属层之间的中心距为q×D2/4；光敏感单元的中心距为q×D2/4；所述光敏感单元阵列(1)上的栅状金属层与光栅尺标尺光栅上的增量码道配合产生莫尔条纹光信号，随后光敏感单元阵列(1)将莫尔条纹光信号转换为莫尔条纹电流信号输出。