一种硅棒的硬度评估方法
摘要文本
本发明公开了一种硅棒硬度的评估方法，所述方法包括：(1)切取硅晶体，得到至少两块硅棒；(2)从至少两块硅棒中选定参考硅棒并分别测量参考硅棒的硬度，得到参考硅棒的硬度数据，根据参考硅棒的硬度数据评估所有硅棒硬度。本发明的方法通过选择硅棒特定区域进行显微硬度测试，根据硅棒的硬度测试结果，将多晶硅棒分为正常硬度、高硬度和超高硬度三类硅棒，针对不同硬度的硅棒，采用相应的切割用线工艺，可以避免不同硬度硅棒导致的金刚石磨损不均匀，进而影响切割良率甚至断线的不良比例的问题，使得多晶金刚线切片的综合用线降低，切割良率提升，从而降低多晶金刚线切片成本。 关注微信公众号马克数据网
申请人信息
- 申请人:洛阳阿特斯光伏科技有限公司
- 申请人地址:471023 河南省洛阳市洛龙科技园关林大道10号
- 发明人: 洛阳阿特斯光伏科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种硅棒的硬度评估方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201711485369.6 |
| 申请日 | 2017年12月30日 |
| 公告号 | CN108225955B |
| 公开日 | 2024年1月12日 |
| IPC主分类号 | G01N3/42 |
| 权利人 | 洛阳阿特斯光伏科技有限公司 |
| 发明人 | 李飞龙; 谷宁宁; 熊震; 朱军; 邢国强 |
| 地址 | 河南省洛阳市洛龙科技园关林大道10号 |
专利主权项内容
1.一种硅棒硬度的评估方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：(1)切取硅晶体，得到至少4块硅棒；(2)从至少4块硅棒中选定参考硅棒并分别测量参考硅棒的硬度，得到参考硅棒的硬度数据，根据参考硅棒的硬度数据评估所有硅棒硬度；步骤(2)一条对角线上的硅棒为参考硅棒，分别测量参考硅棒的硬度数据以评估全部硅棒的硬度数据，所述对角线为硅棒的顶部或底部所在的面的对角线；或者，选取位于侧边位置的至少一半的硅棒作为“L”型参考硅棒的一边，作“L”型使参考硅棒既包含位于顶角位置的硅棒，又包含位于侧边位置的硅棒和位于内部位置的硅棒，分别测量参考硅棒的硬度数据以评估全部硅棒的硬度数据；根据参考硅棒的硬度数据，评估除参考硅棒以外的其他硅棒的硬度数据的方法为：根据位于顶角位置的参考硅棒的硬度数据，评估位于顶角位置的未测量硅棒的硬度数据，记为M，所述评估取质量加权平均值；根据位于非顶角位置的参考硅棒的硬度数据，评估除位于顶角位置以及侧边位置的未测量硅棒的硬度数据，记为N，所述评估取质量加权平均值；位于侧边位置的未测量硅棒的硬度数据为M和N的平均值。