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一种光学元件表面损伤阈值测试系统及其测试方法
摘要文本
本发明公开了一种光学元件表面损伤阈值测试系统及其测试方法，涉及光学检测领域，包括按光路依次放置的激光器、液晶光阀、光束分束器、透镜一、测试样品、吸收陷阱、直视CCD、反射镜、能量卡计、透镜二和监视CCD，本发明的损伤阈值测试方法为通过建立液晶光阀与光斑近场的映射关系获得传递函数，将光斑中损伤点的坐标带入传递函数确定液晶光阀遮挡区域，当遮挡区域覆盖损伤点后计算局部通量，提高损伤阈值的计算精度。
申请人信息
- 申请人:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 申请人地址:621900 四川省绵阳市绵山路64号
- 发明人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种光学元件表面损伤阈值测试系统及其测试方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201610169105.9 |
| 申请日 | 2016年3月23日 |
| 公告号 | CN105842248B |
| 公开日 | 2024年2月20日 |
| IPC主分类号 | G01N21/88 |
| 权利人 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 发明人 | 周信达; 丁磊; 郑垠波; 巴荣声; 袁静; 姜宏振; 徐宏磊; 张霖; 李东; 杨一; 杨晓瑜; 陈波; 柴立群; 郑万国 |
| 地址 | 四川省绵阳市科学城绵山路64号 |
专利主权项内容
1.一种光学元件表面损伤阈值测试系统，包括按光路依次放置的激光器(1)、液晶光阀(2)、光束分束器(3)、透镜一(4)、测试样品(5)、吸收陷阱(6)、直视CCD(7)、反射镜(8)、能量卡计(9)、透镜二(10)和监视CCD(11)，其特征在于，由激光器(1)发出的激光束，经液晶光阀(2)整形后到达光束分束器(3)，光束分束器(3)透射方向的激光经过透镜一(4)汇聚到测试样品(5)表面，经过测试样品(5)的激光经过吸收陷阱(6)到达直视CCD(7)，光束分束器(3)反射方向的激光经过反射镜(8)，反射镜(8)反射方向的激光到达透镜二(10)最后汇聚到监视CCD(11)，反射镜(8)透视方向的激光到达能量卡计(9)；所述激光器(1)发出激光波长为1053nm、527nm或351nm，脉冲宽度可调整范围为0.2ns～20ns，所述激光器输出能量调整范围为2J～100J；所述透镜一(4)和透镜二(10)对激光束进行聚焦，所述光束分束器(3)按1000∶1的比例将小能量的激光导入激光测试分析单元进行能量光束分析。