源瓶控制器监控系统

专利主权项内容

1.一种源瓶控制器监控系统，其特征在于，包括源瓶控制器、扩散炉及电连接线，所述源瓶控制器包括温度模拟量输出端口，所述扩散炉包括气体接口板，所述气体接口板具有流量计输出端口，所述电连接线的两端分别接入所述温度模拟量输出端口及所述流量计输出端口；所述扩散炉还包括控制器和显示器，所述控制器连接至所述流量计输出端口，所述控制器配置为，接收自所述温度模拟量输出端口输出并经所述流量计输出端口传输的电压信号，并将所述电压信号转换为温度读数，由所述显示器显示所述温度读数；所述源瓶控制器监控系统包括多个源瓶控制器和一个扩散炉，每个源瓶控制器具有一个温度模拟量输出端口，每个扩散炉包括多个流量计输出端口，各个源瓶控制器的所述温度模拟量输出端口经由所述电连接线连接至不同的所述流量计输出端口；所述显示器为扩散炉的控制计算机的一部分，所述显示器显示各个流量计输出端口分别对应的温度读数；其中，所述温度读数与多个所述源瓶控制器相对应，若某个所述源瓶控制器对应的温度读数为零，则表示对应的所述源瓶控制器失电或者发生故障；所述控制计算机预设有第一温度区间，并用于判断是否有处于第一温度区间以外的温度读数，若有，则发出报警信号。