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光路一致式位移传感器及其测量方法
摘要文本
本发明提供了一种光路一致式位移传感器及其测量方法，该光路一致式位移传感器包括激光束一；反射镜一，用于接收激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且使该激光束在激光束一入射至同一个第一反射面的测量过程中，沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面；光电探测器一，用于接收反射镜一反射至三角波反射镜的第二反射面后经第二反射面反射的激光束，并测量其入射位置；处理系统，用于根据光电探测器一接收到的激光束一的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。本发明光路一致式位移传感器，通过反射镜的设置，可以使得位移前后的激光沿相同的路径入射至光电探测器，因此可以提高光路一致式位移传感器的测量精度。
申请人信息
- 申请人:北方民族大学
- 申请人地址:750021 宁夏回族自治区银川市西夏区文昌北路204号
- 发明人: 北方民族大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 光路一致式位移传感器及其测量方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201810481645.X |
| 申请日 | 2018/5/18 |
| 公告号 | CN108444396B |
| 公开日 | 2024/2/6 |
| IPC主分类号 | G01B11/02 |
| 权利人 | 北方民族大学 |
| 发明人 | 张白 |
| 地址 | 宁夏回族自治区银川市西夏区文昌北路204号 |
专利主权项内容
1.一种光路一致式位移传感器，其特征在于，包括：三角波反射镜，包括第一反射面和第二反射面；激光束一，入射至三角波反射镜的第一反射面；反射镜一，用于接收激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且使该激光束在激光束一入射至同一个第一反射面的测量过程中，沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面；光电探测器一，用于接收反射镜一反射至三角波反射镜的第二反射面后经第二反射面反射的激光束，并测量其入射位置；处理系统，用于根据光电探测器一接收到的激光束一的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值；反射镜一平行于第一反射面，同时平行于第二反射面，激光束一与第一反射面的锐角夹角等于两倍第一反射面与水平面的夹角。